గ్రానైట్ ఎయిర్ బేరింగ్ వ్యవస్థలు విస్తృతంగా ఉపయోగించబడతాయిఅతి-ఖచ్చితమైనసెమీకండక్టర్ తయారీ, ఆప్టికల్ అలైన్మెంట్ మరియు నానోమీటర్-స్థాయి మెట్రాలజీ కోసం మోషన్ ప్లాట్ఫారమ్లు.
ఈ వ్యవస్థలు పలుచని పీడన గాలి పొరను ఉపయోగించడం ద్వారా యాంత్రిక స్పర్శను తొలగించి, దాదాపు సున్నా ఘర్షణ చలనాన్ని సాధిస్తాయి.
ఎయిర్ బేరింగ్ సూత్రం
రెండు ఉపరితలాల మధ్య సంపీడన గాలిని ప్రవేశపెట్టడం ద్వారా, 2–20 μm గాలి పొరను ఏర్పరచి ఎయిర్ బేరింగ్లు పనిచేస్తాయి.
ఇది తొలగిస్తుంది:
- యాంత్రిక ఘర్షణ
- ధరించండి
- స్టిక్-స్లిప్ ప్రవర్తన
ఈ వ్యవస్థ ద్రవ పొర గతిశాస్త్రం మరియు స్థిరమైన లామినార్ ప్రవాహంపై ఆధారపడి ఉంటుంది.
గ్రానైట్ పాత్ర
గ్రానైట్ అందించేవి:
- నిర్మాణ స్థిరత్వం
- థర్మల్ డ్రిఫ్ట్ అణచివేత
- కంపన నిరోధకత
ఇది చలన వ్యవస్థకు యాంత్రిక సూచన ఆధారంగా పనిచేస్తుంది.
సిస్టమ్ భాగాలు
- గ్రానైట్ బేస్
- ఎయిర్ బేరింగ్ ప్యాడ్లు
- గాలి సరఫరా వ్యవస్థ
- ప్రెసిషన్ ఎన్కోడర్లు
- చలన నియంత్రణ వ్యవస్థ
పనితీరు లక్షణాలు
సాధారణ పనితీరులో ఇవి ఉంటాయి:
- సబ్-మైక్రాన్ పొజిషనింగ్ ఖచ్చితత్వం
- సుదీర్ఘ ప్రయాణంలో అధిక సరళత
- జీరో మెకానికల్ బ్యాక్లాష్
ప్రధాన లోప మూలాలలో గాలి పీడన అస్థిరత, ఉష్ణ విచలనం మరియు ఎన్కోడర్ లోపం ఉన్నాయి.
అప్లికేషన్లు
- సెమీకండక్టర్ వేఫర్ తనిఖీ
- లిథోగ్రఫీ వ్యవస్థలు
- ఆప్టికల్ అలైన్మెంట్ ప్లాట్ఫారమ్లు
- ఉన్నత శ్రేణి కొలత యంత్రాలు
తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు
ఎయిర్ బేరింగ్లు అరిగిపోతాయా?
యాంత్రిక స్పర్శ లేకపోవడం అరుగుదలను నివారిస్తుంది.
గ్రానైట్ ఎందుకు వాడాలి?
స్థిరత్వం మరియు కంపన నివారణ కోసం.
ఖచ్చితత్వాన్ని ఏది పరిమితం చేస్తుంది?
గాలి స్థిరత్వం మరియు ఉష్ణ ప్రభావాలు.
వారు బరువైన భారాలను మోయగలరా?
అవును, డిజైన్ను బట్టి ఉంటుంది.
పోస్ట్ చేసిన సమయం: జూలై-03-2026