♦అలుమినా(అల్2O3)
ZhongHui ఇంటెలిజెంట్ మ్యానుఫ్యాక్చరింగ్ గ్రూప్ (ZHHIMG) ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడిన ఖచ్చితమైన సిరామిక్ భాగాలను అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన సిరామిక్ ముడి పదార్థాలు, 92~97% అల్యూమినా, 99.5% అల్యూమినా, >99.9% అల్యూమినా మరియు CIP కోల్డ్ ఐసోస్టాటిక్ ప్రెసింగ్‌తో తయారు చేయవచ్చు.అధిక ఉష్ణోగ్రత సింటరింగ్ మరియు ఖచ్చితమైన మ్యాచింగ్, ± 0.001mm యొక్క డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వం, Ra0.1 వరకు సున్నితత్వం, 1600 డిగ్రీల వరకు ఉష్ణోగ్రతను ఉపయోగించండి.వినియోగదారుల అవసరాలకు అనుగుణంగా వివిధ రంగుల సిరామిక్‌లను తయారు చేయవచ్చు, అవి: నలుపు, తెలుపు, లేత గోధుమరంగు, ముదురు ఎరుపు, మొదలైనవి అధిక ఉష్ణోగ్రత, వాక్యూమ్ మరియు తినివేయు వాయువు వాతావరణంలో చాలా కాలం పాటు ఉపయోగించబడుతుంది.
వివిధ రకాల సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి పరికరాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది: ఫ్రేమ్‌లు (సిరామిక్ బ్రాకెట్), సబ్‌స్ట్రేట్ (బేస్), ఆర్మ్/ బ్రిడ్జ్ (మానిప్యులేటర్), , మెకానికల్ భాగాలు మరియు సిరామిక్ ఎయిర్ బేరింగ్.
| ఉత్పత్తి నామం | అధిక స్వచ్ఛత 99 అల్యూమినా సిరామిక్ స్క్వేర్ ట్యూబ్ / పైప్ / రాడ్ | |||||
| సూచిక | యూనిట్ | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99.5 % Al2O3 | |
| సాంద్రత | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| నీటి సంగ్రహణ | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| సింటెర్డ్ ఉష్ణోగ్రత | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| కాఠిన్యం | మొహ్స్ | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| బెండింగ్ స్ట్రెంత్ (20℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| సంపీడన బలం | కేజీఎఫ్/సెం2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| ఎక్కువ కాలం పని చేసే ఉష్ణోగ్రత | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| గరిష్టంగాపని ఉష్ణోగ్రత | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
అధిక స్వచ్ఛత అల్యూమినా సిరామిక్స్ అప్లికేషన్:
1. సెమీకండక్టర్ పరికరాలకు వర్తించబడుతుంది: సిరామిక్ వాక్యూమ్ చక్, కట్టింగ్ డిస్క్, క్లీనింగ్ డిస్క్, సిరామిక్ CHUCK.
2. వేఫర్ బదిలీ భాగాలు: వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ చక్స్, వేఫర్ కట్టింగ్ డిస్క్‌లు, వేఫర్ క్లీనింగ్ డిస్క్‌లు, వేఫర్ ఆప్టికల్ ఇన్‌స్పెక్షన్ చూషణ కప్పులు.
3. LED / LCD ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్ప్లే పరిశ్రమ: సిరామిక్ నాజిల్, సిరామిక్ గ్రైండింగ్ డిస్క్, లిఫ్ట్ పిన్, పిన్ రైలు.
4. ఆప్టికల్ కమ్యూనికేషన్, సౌర పరిశ్రమ: సిరామిక్ ట్యూబ్‌లు, సిరామిక్ రాడ్‌లు, సర్క్యూట్ బోర్డ్ స్క్రీన్ ప్రింటింగ్ సిరామిక్ స్క్రాపర్‌లు.
5. వేడి-నిరోధక మరియు విద్యుత్ ఇన్సులేటింగ్ భాగాలు: సిరామిక్ బేరింగ్లు.
ప్రస్తుతం, అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ సిరామిక్స్‌ను అధిక స్వచ్ఛత మరియు సాధారణ సిరామిక్‌లుగా విభజించవచ్చు.అధిక స్వచ్ఛత అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ సిరామిక్స్ సిరీస్ 99.9% Al₂O₃ కంటే ఎక్కువ ఉన్న సిరామిక్ పదార్థాన్ని సూచిస్తుంది.1650 - 1990°C వరకు దాని సింటరింగ్ ఉష్ణోగ్రత మరియు 1 ~ 6μm ప్రసార తరంగదైర్ఘ్యం కారణంగా, ఇది సాధారణంగా ప్లాటినం క్రూసిబుల్‌కు బదులుగా ఫ్యూజ్డ్ గ్లాస్‌గా ప్రాసెస్ చేయబడుతుంది: ఇది కాంతి ప్రసారం మరియు తుప్పు నిరోధకత కారణంగా సోడియం ట్యూబ్‌గా ఉపయోగించవచ్చు. క్షార లోహం.ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమలో, దీనిని IC సబ్‌స్ట్రేట్‌లకు అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ ఇన్సులేటింగ్ మెటీరియల్‌గా ఉపయోగించవచ్చు.అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ యొక్క విభిన్న విషయాల ప్రకారం, సాధారణ అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ సిరామిక్ సిరీస్‌ను 99 సిరామిక్స్, 95 సిరామిక్స్, 90 సిరామిక్స్ మరియు 85 సిరామిక్స్‌గా విభజించవచ్చు.కొన్నిసార్లు, అల్యూమినియం ఆక్సైడ్‌లో 80% లేదా 75% ఉన్న సిరామిక్‌లు సాధారణ అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ సిరామిక్ సిరీస్‌గా కూడా వర్గీకరించబడతాయి.వాటిలో, 99 అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ సిరామిక్ పదార్థం అధిక-ఉష్ణోగ్రత క్రూసిబుల్, ఫైర్‌ఫ్రూఫింగ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్ మరియు సిరామిక్ బేరింగ్లు, సిరామిక్ సీల్స్ మరియు వాల్వ్ ప్లేట్లు వంటి ప్రత్యేక దుస్తులు-నిరోధక పదార్థాలను ఉత్పత్తి చేయడానికి ఉపయోగించబడుతుంది.95 అల్యూమినియం సిరామిక్స్ ప్రధానంగా తుప్పు-నిరోధక దుస్తులు-నిరోధక భాగం వలె ఉపయోగించబడుతుంది.85 సిరామిక్స్ తరచుగా కొన్ని లక్షణాలలో మిళితం చేయబడుతుంది, తద్వారా విద్యుత్ పనితీరు మరియు యాంత్రిక బలాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.ఇది మాలిబ్డినం, నియోబియం, టాంటాలమ్ మరియు ఇతర మెటల్ సీల్స్‌ను ఉపయోగించవచ్చు మరియు కొన్ని ఎలక్ట్రిక్ వాక్యూమ్ పరికరాలుగా ఉపయోగించబడతాయి.
| నాణ్యమైన అంశం (ప్రతినిధి విలువ) | ఉత్పత్తి నామం | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| కెమికల్ కంపోజిషన్ తక్కువ-సోడియం ఈజీ సింటరింగ్ ఉత్పత్తి | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| LOL | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| అల్₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| మధ్యస్థ కణ వ్యాసం (MT-3300, లేజర్ విశ్లేషణ పద్ధతి) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α క్రిస్టల్ పరిమాణం | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| ఏర్పడే సాంద్రత** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| సింటరింగ్ సాంద్రత** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| సింటరింగ్ లైన్ కుదించే రేటు** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* Al₂O₃ యొక్క స్వచ్ఛత గణనలో MgO చేర్చబడలేదు.
* స్కేలింగ్ పౌడర్ లేదు 29.4MPa (300kg/cm²), సింటరింగ్ ఉష్ణోగ్రత 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: 0.05 ~ 0.1% MgO జోడించండి, సిన్టెరబిలిటీ అద్భుతమైనది, కాబట్టి ఇది 99% కంటే ఎక్కువ స్వచ్ఛతతో అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ సెరామిక్స్‌కు వర్తిస్తుంది.
AES-22S: అధిక ఫార్మింగ్ డెన్సిటీ మరియు సింటరింగ్ లైన్ యొక్క తక్కువ కుదించే రేటు ద్వారా వర్గీకరించబడుతుంది, ఇది స్లిప్ ఫారమ్ కాస్టింగ్ మరియు అవసరమైన డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వంతో ఇతర పెద్ద-స్థాయి ఉత్పత్తులకు వర్తిస్తుంది.
AES-23 / AES-31-03: ఇది AES-22S కంటే ఎక్కువ సాంద్రత, థిక్సోట్రోపి మరియు తక్కువ స్నిగ్ధత కలిగి ఉంటుంది.మునుపటిది సెరామిక్స్‌కు ఉపయోగించబడుతుంది, రెండోది ఫైర్‌ఫ్రూఫింగ్ పదార్థాలకు వాటర్ రిడ్యూసర్‌గా ఉపయోగించబడుతుంది, ఇది ప్రజాదరణ పొందింది.
♦సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) లక్షణాలు
| సాధారణ లక్షణాలు | ప్రధాన భాగాల స్వచ్ఛత (wt%) | 97 | |
| రంగు | నలుపు | ||
| సాంద్రత (గ్రా/సెం³) | 3.1 | ||
| నీటి సంగ్రహణ (%) | 0 | ||
| యాంత్రిక లక్షణాలు | ఫ్లెక్చరల్ బలం (MPa) | 400 | |
| యంగ్ మాడ్యులస్ (GPa) | 400 | ||
| వికర్స్ కాఠిన్యం (GPa) | 20 | ||
| థర్మల్ లక్షణాలు | గరిష్ట ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత (°C) | 1600 | |
| థర్మల్ విస్తరణ గుణకం | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
| ఉష్ణ వాహకత (W/m x K) | 130 110 | ||
| థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్ ΔT (°C) | 300 | ||
| ఎలక్ట్రికల్ లక్షణాలు | వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| విద్యున్నిరోధకమైన స్థిరంగా | 10GHz | - | |
| విద్యుద్వాహక నష్టం (x 10-4) | - | ||
| Q కారకం (x 104) | - | ||
| విద్యుద్వాహక విచ్ఛిన్న వోల్టేజ్ (KV/mm) | - | ||
♦సిలికాన్ నైట్రైడ్ సిరామిక్
| మెటీరియల్ | యూనిట్ | Si₃N₄ |
| సింటరింగ్ పద్ధతి | - | గ్యాస్ ప్రెజర్ సింటర్డ్ |
| సాంద్రత | g/cm³ | 3.22 |
| రంగు | - | ముదురు బూడిద రంగు |
| నీటి శోషణ రేటు | % | 0 |
| యంగ్ మాడ్యులస్ | Gpa | 290 |
| వికర్స్ కాఠిన్యం | Gpa | 18 - 20 |
| సంపీడన బలం | Mpa | 2200 |
| బెండింగ్ బలం | Mpa | 650 |
| ఉష్ణ వాహకత | W/mK | 25 |
| థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్ | Δ (°C) | 450 - 650 |
| గరిష్ట ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత | °C | 1200 |
| వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ | Ω· సెం.మీ | > 10 ^ 14 |
| విద్యున్నిరోధకమైన స్థిరంగా | - | 8.2 |
| విద్యుద్వాహక బలం | kV/mm | 16 |