♦అలుమినా(అల్2O3)
ZhongHui ఇంటెలిజెంట్ మ్యానుఫ్యాక్చరింగ్ గ్రూప్ (ZHHIMG) ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడిన ఖచ్చితమైన సిరామిక్ భాగాలను అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన సిరామిక్ ముడి పదార్థాలు, 92~97% అల్యూమినా, 99.5% అల్యూమినా, >99.9% అల్యూమినా మరియు CIP కోల్డ్ ఐసోస్టాటిక్ ప్రెసింగ్‌తో తయారు చేయవచ్చు.అధిక ఉష్ణోగ్రత సింటరింగ్ మరియు ఖచ్చితమైన మ్యాచింగ్, ± 0.001mm యొక్క డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వం, Ra0.1 వరకు సున్నితత్వం, 1600 డిగ్రీల వరకు ఉష్ణోగ్రతను ఉపయోగించండి.వినియోగదారుల అవసరాలకు అనుగుణంగా వివిధ రంగుల సిరామిక్‌లను తయారు చేయవచ్చు, అవి: నలుపు, తెలుపు, లేత గోధుమరంగు, ముదురు ఎరుపు, మొదలైనవి అధిక ఉష్ణోగ్రత, వాక్యూమ్ మరియు తినివేయు వాయువు వాతావరణంలో చాలా కాలం పాటు ఉపయోగించబడుతుంది.
వివిధ రకాల సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి పరికరాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది: ఫ్రేమ్‌లు (సిరామిక్ బ్రాకెట్), సబ్‌స్ట్రేట్ (బేస్), ఆర్మ్/ బ్రిడ్జ్ (మానిప్యులేటర్), , మెకానికల్ భాగాలు మరియు సిరామిక్ ఎయిర్ బేరింగ్.
| ఉత్పత్తి నామం | అధిక స్వచ్ఛత 99 అల్యూమినా సిరామిక్ స్క్వేర్ ట్యూబ్ / పైప్ / రాడ్ | |||||
| సూచిక | యూనిట్ | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99.5 % Al2O3 | |
| సాంద్రత | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| నీటి సంగ్రహణ | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| సింటెర్డ్ ఉష్ణోగ్రత | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| కాఠిన్యం | మొహ్స్ | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| బెండింగ్ స్ట్రెంత్ (20℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| సంపీడన బలం | కేజీఎఫ్/సెం2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| ఎక్కువ కాలం పని చేసే ఉష్ణోగ్రత | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| గరిష్టంగాపని ఉష్ణోగ్రత | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
అధిక స్వచ్ఛత అల్యూమినా సిరామిక్స్ అప్లికేషన్:
1. సెమీకండక్టర్ పరికరాలకు వర్తించబడుతుంది: సిరామిక్ వాక్యూమ్ చక్, కట్టింగ్ డిస్క్, క్లీనింగ్ డిస్క్, సిరామిక్ CHUCK.
2. వేఫర్ బదిలీ భాగాలు: వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ చక్స్, వేఫర్ కట్టింగ్ డిస్క్‌లు, వేఫర్ క్లీనింగ్ డిస్క్‌లు, వేఫర్ ఆప్టికల్ ఇన్‌స్పెక్షన్ చూషణ కప్పులు.
3. LED / LCD ఫ్లాట్ ప్యానెల్ ప్రదర్శన పరిశ్రమ: సిరామిక్ నాజిల్, సిరామిక్ గ్రైండింగ్ డిస్క్, లిఫ్ట్ పిన్, పిన్ రైలు.
4. ఆప్టికల్ కమ్యూనికేషన్, సౌర పరిశ్రమ: సిరామిక్ ట్యూబ్‌లు, సిరామిక్ రాడ్‌లు, సర్క్యూట్ బోర్డ్ స్క్రీన్ ప్రింటింగ్ సిరామిక్ స్క్రాపర్‌లు.
5. వేడి-నిరోధక మరియు విద్యుత్ ఇన్సులేటింగ్ భాగాలు: సిరామిక్ బేరింగ్లు.
ప్రస్తుతం, అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ సిరామిక్స్‌ను అధిక స్వచ్ఛత మరియు సాధారణ సిరామిక్‌లుగా విభజించవచ్చు.అధిక స్వచ్ఛత అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ సిరామిక్స్ సిరీస్ 99.9% Al₂O₃ కంటే ఎక్కువ ఉన్న సిరామిక్ పదార్థాన్ని సూచిస్తుంది.1650 - 1990°C వరకు దాని సింటరింగ్ ఉష్ణోగ్రత మరియు 1 ~ 6μm ప్రసార తరంగదైర్ఘ్యం కారణంగా, ఇది సాధారణంగా ప్లాటినం క్రూసిబుల్‌కు బదులుగా ఫ్యూజ్డ్ గ్లాస్‌గా ప్రాసెస్ చేయబడుతుంది: కాంతి ప్రసారం మరియు తుప్పు నిరోధకత కారణంగా దీనిని సోడియం ట్యూబ్‌గా ఉపయోగించవచ్చు. క్షార లోహం.ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమలో, దీనిని IC సబ్‌స్ట్రేట్‌ల కోసం అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ ఇన్సులేటింగ్ మెటీరియల్‌గా ఉపయోగించవచ్చు.అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ యొక్క విభిన్న విషయాల ప్రకారం, సాధారణ అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ సిరామిక్ సిరీస్‌ను 99 సిరామిక్స్, 95 సిరామిక్స్, 90 సిరామిక్స్ మరియు 85 సిరామిక్స్‌గా విభజించవచ్చు.కొన్నిసార్లు, అల్యూమినియం ఆక్సైడ్‌లో 80% లేదా 75% ఉన్న సిరామిక్‌లు సాధారణ అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ సిరామిక్ సిరీస్‌గా కూడా వర్గీకరించబడతాయి.వాటిలో, 99 అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ సిరామిక్ పదార్థం అధిక-ఉష్ణోగ్రత క్రూసిబుల్, ఫైర్‌ఫ్రూఫింగ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్ మరియు సిరామిక్ బేరింగ్లు, సిరామిక్ సీల్స్ మరియు వాల్వ్ ప్లేట్లు వంటి ప్రత్యేక దుస్తులు-నిరోధక పదార్థాలను ఉత్పత్తి చేయడానికి ఉపయోగించబడుతుంది.95 అల్యూమినియం సిరామిక్స్ ప్రధానంగా తుప్పు-నిరోధక దుస్తులు-నిరోధక భాగంగా ఉపయోగించబడుతుంది.85 సిరామిక్స్ తరచుగా కొన్ని లక్షణాలలో మిళితం చేయబడుతుంది, తద్వారా విద్యుత్ పనితీరు మరియు యాంత్రిక బలాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.ఇది మాలిబ్డినం, నియోబియం, టాంటాలమ్ మరియు ఇతర మెటల్ సీల్స్‌ను ఉపయోగించవచ్చు మరియు కొన్ని ఎలక్ట్రిక్ వాక్యూమ్ పరికరాలుగా ఉపయోగించబడతాయి.
| నాణ్యమైన అంశం (ప్రతినిధి విలువ) | ఉత్పత్తి నామం | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| కెమికల్ కంపోజిషన్ తక్కువ-సోడియం ఈజీ సింటరింగ్ ఉత్పత్తి | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| LOL | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| అల్₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| మధ్యస్థ కణ వ్యాసం (MT-3300, లేజర్ విశ్లేషణ పద్ధతి) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α క్రిస్టల్ పరిమాణం | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| ఏర్పడే సాంద్రత** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| సింటరింగ్ సాంద్రత** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| సింటరింగ్ లైన్ కుదించే రేటు** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* Al₂O₃ స్వచ్ఛత గణనలో MgO చేర్చబడలేదు.
* స్కేలింగ్ పౌడర్ లేదు 29.4MPa (300kg/cm²), సింటరింగ్ ఉష్ణోగ్రత 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: 0.05 ~ 0.1% MgO జోడించండి, సిన్టెరబిలిటీ అద్భుతమైనది, కాబట్టి ఇది 99% కంటే ఎక్కువ స్వచ్ఛతతో అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ సెరామిక్స్‌కు వర్తిస్తుంది.
AES-22S: అధిక ఫార్మింగ్ డెన్సిటీ మరియు సింటరింగ్ లైన్ యొక్క తక్కువ కుదించే రేటు ద్వారా వర్గీకరించబడుతుంది, ఇది స్లిప్ ఫారమ్ కాస్టింగ్ మరియు అవసరమైన డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వంతో ఇతర పెద్ద-స్థాయి ఉత్పత్తులకు వర్తిస్తుంది.
AES-23 / AES-31-03: ఇది AES-22S కంటే ఎక్కువ సాంద్రత, థిక్సోట్రోపి మరియు తక్కువ స్నిగ్ధత కలిగి ఉంటుంది.మొదటిది సెరామిక్స్‌కు ఉపయోగించబడుతుంది, రెండోది ఫైర్‌ఫ్రూఫింగ్ పదార్థాల కోసం వాటర్ రిడ్యూసర్‌గా ఉపయోగించబడుతుంది, ఇది ప్రజాదరణ పొందింది.
♦సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) లక్షణాలు
| సాధారణ లక్షణాలు | ప్రధాన భాగాల స్వచ్ఛత (wt%) | 97 | |
| రంగు | నలుపు | ||
| సాంద్రత (గ్రా/సెం³) | 3.1 | ||
| నీటి సంగ్రహణ (%) | 0 | ||
| యాంత్రిక లక్షణాలు | ఫ్లెక్చరల్ బలం (MPa) | 400 | |
| యంగ్ మాడ్యులస్ (GPa) | 400 | ||
| వికర్స్ కాఠిన్యం (GPa) | 20 | ||
| థర్మల్ లక్షణాలు | గరిష్ట ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత (°C) | 1600 | |
| థర్మల్ విస్తరణ గుణకం | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
| ఉష్ణ వాహకత (W/m x K) | 130 110 | ||
| థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్ ΔT (°C) | 300 | ||
| ఎలక్ట్రికల్ లక్షణాలు | వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| విద్యున్నిరోధకమైన స్థిరంగా | 10GHz | - | |
| విద్యుద్వాహక నష్టం (x 10-4) | - | ||
| Q కారకం (x 104) | - | ||
| విద్యుద్వాహక విచ్ఛిన్న వోల్టేజ్ (KV/mm) | - | ||
♦సిలికాన్ నైట్రైడ్ సిరామిక్
| మెటీరియల్ | యూనిట్ | Si₃N₄ |
| సింటరింగ్ పద్ధతి | - | గ్యాస్ ప్రెజర్ సిన్టర్డ్ |
| సాంద్రత | g/cm³ | 3.22 |
| రంగు | - | ముదురు బూడిద రంగు |
| నీటి శోషణ రేటు | % | 0 |
| యంగ్ మాడ్యులస్ | Gpa | 290 |
| వికర్స్ కాఠిన్యం | Gpa | 18 - 20 |
| సంపీడన బలం | Mpa | 2200 |
| బెండింగ్ బలం | Mpa | 650 |
| ఉష్ణ వాహకత | W/mK | 25 |
| థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్ | Δ (°C) | 450 - 650 |
| గరిష్ట ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత | °C | 1200 |
| వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ | Ω· సెం.మీ | > 10 ^ 14 |
| విద్యున్నిరోధకమైన స్థిరంగా | - | 8.2 |
| విద్యుద్వాహక బలం | kV/mm | 16 |