వేఫర్ స్కానింగ్ సమయంలో వేడి కారణంగా గ్రానైట్ మెషిన్ బేస్ విస్తరిస్తుందా?

చిప్ తయారీలో కీలకమైన లింక్ - వేఫర్ స్కానింగ్‌లో, పరికరాల ఖచ్చితత్వం చిప్ నాణ్యతను నిర్ణయిస్తుంది. పరికరాలలో ముఖ్యమైన భాగంగా, గ్రానైట్ మెషిన్ బేస్ యొక్క ఉష్ణ విస్తరణ సమస్య చాలా దృష్టిని ఆకర్షించింది.

గ్రానైట్ యొక్క ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం సాధారణంగా 4 మరియు 8×10⁻⁶/℃ మధ్య ఉంటుంది, ఇది లోహాలు మరియు పాలరాయి కంటే చాలా తక్కువ. దీని అర్థం ఉష్ణోగ్రత మారినప్పుడు, దాని పరిమాణం చాలా తక్కువగా మారుతుంది. అయితే, తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ అంటే ఉష్ణ విస్తరణ లేదని అర్థం కాదని గమనించాలి. తీవ్రమైన ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గుల కింద, స్వల్ప విస్తరణ కూడా వేఫర్ స్కానింగ్ యొక్క నానోస్కేల్ ఖచ్చితత్వాన్ని ప్రభావితం చేస్తుంది.

వేఫర్ స్కానింగ్ ప్రక్రియలో, ఉష్ణ విస్తరణ జరగడానికి అనేక కారణాలు ఉన్నాయి. వర్క్‌షాప్‌లో ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గులు, పరికరాల భాగాల ఆపరేషన్ ద్వారా ఉత్పన్నమయ్యే వేడి మరియు లేజర్ ప్రాసెసింగ్ ద్వారా తక్షణ అధిక ఉష్ణోగ్రత అన్నీ గ్రానైట్ బేస్ "ఉష్ణోగ్రత మార్పుల కారణంగా విస్తరించడానికి మరియు కుదించడానికి" కారణమవుతాయి. బేస్ థర్మల్ విస్తరణకు గురైన తర్వాత, గైడ్ రైలు యొక్క సరళత మరియు ప్లాట్‌ఫారమ్ యొక్క చదునుతనం విచలించబడవచ్చు, ఫలితంగా వేఫర్ టేబుల్ యొక్క సరికాని కదలిక పథం ఏర్పడుతుంది. సపోర్టింగ్ ఆప్టికల్ భాగాలు కూడా మారతాయి, దీని వలన స్కానింగ్ బీమ్ "విచలించబడుతుంది". ఎక్కువసేపు నిరంతరం పనిచేయడం వల్ల లోపాలు కూడా పేరుకుపోతాయి, దీని వలన ఖచ్చితత్వం మరింత దిగజారిపోతుంది.

కానీ చింతించకండి. ప్రజల దగ్గర ఇప్పటికే పరిష్కారాలు ఉన్నాయి. పదార్థాల పరంగా, తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం కలిగిన గ్రానైట్ సిరలు ఎంపిక చేయబడతాయి మరియు వృద్ధాప్య చికిత్సకు లోనవుతాయి. ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ పరంగా, వర్క్‌షాప్ ఉష్ణోగ్రత 23±0.5℃ లేదా అంతకంటే తక్కువ వద్ద ఖచ్చితంగా నియంత్రించబడుతుంది మరియు బేస్ కోసం క్రియాశీల ఉష్ణ వెదజల్లే పరికరం కూడా రూపొందించబడుతుంది. నిర్మాణ రూపకల్పన పరంగా, సుష్ట నిర్మాణాలు మరియు సౌకర్యవంతమైన మద్దతులను స్వీకరించారు మరియు ఉష్ణోగ్రత సెన్సార్ల ద్వారా నిజ-సమయ పర్యవేక్షణ నిర్వహించబడుతుంది. ఉష్ణ వైకల్యం వల్ల కలిగే లోపాలు అల్గోరిథంల ద్వారా డైనమిక్‌గా సరిదిద్దబడతాయి.

ASML లితోగ్రఫీ యంత్రాలు వంటి అత్యాధునిక పరికరాలు, ఈ పద్ధతుల ద్వారా, గ్రానైట్ బేస్ యొక్క ఉష్ణ విస్తరణ ప్రభావాన్ని చాలా చిన్న పరిధిలో ఉంచుతాయి, వేఫర్ స్కానింగ్ ఖచ్చితత్వం నానోమీటర్ స్థాయికి చేరుకోవడానికి వీలు కల్పిస్తుంది. అందువల్ల, గ్రానైట్ బేస్ సరిగ్గా నియంత్రించబడినంత వరకు, వేఫర్ స్కానింగ్ పరికరాలకు నమ్మదగిన ఎంపికగా ఉంటుంది.