సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో గ్రానైట్ భాగాలకు ప్రమాణాలు మరియు లక్షణాలు ఏమిటి?

గ్రానైట్ భాగాలు అధిక స్థిరత్వం మరియు మన్నిక కారణంగా సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడతాయి. సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియల యొక్క ఖచ్చితత్వం మరియు ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్వహించడానికి వారు బాధ్యత వహిస్తారు. ఏదేమైనా, గ్రానైట్ భాగాల ప్రభావం మరియు విశ్వసనీయత వాటి రూపకల్పన, కల్పన మరియు సంస్థాపన సమయంలో సమర్థించే ప్రమాణాలు మరియు స్పెసిఫికేషన్లపై ఆధారపడి ఉంటాయి.

సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో గ్రానైట్ భాగాలను ఉపయోగించినప్పుడు కట్టుబడి ఉండాలి, ఈ క్రిందివి కొన్ని ప్రమాణాలు మరియు లక్షణాలు:

1. మెటీరియల్ డెన్సిటీ: గ్రానైట్ భాగాల తయారీలో ఉపయోగించే గ్రానైట్ పదార్థం యొక్క సాంద్రత 2.65G/cm3 చుట్టూ ఉండాలి. ఇది సహజ గ్రానైట్ పదార్థం యొక్క సాంద్రత, మరియు ఇది గ్రానైట్ భాగాల లక్షణాలలో స్థిరత్వం మరియు విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తుంది.

2. ఫ్లాట్‌నెస్: సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో ఉపయోగించే గ్రానైట్ భాగాలకు ఫ్లాట్‌నెస్ చాలా కీలకమైన స్పెసిఫికేషన్లలో ఒకటి. గ్రానైట్ ఉపరితలం యొక్క ఫ్లాట్నెస్ 0.001 mm/m2 కంటే తక్కువగా ఉండాలి. ఇది భాగం యొక్క ఉపరితలం ఫ్లాట్ మరియు స్థాయి అని నిర్ధారిస్తుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలకు అవసరం.

3. ఉపరితల ముగింపు: గ్రానైట్ భాగాల ఉపరితల ముగింపు అధిక నాణ్యతతో ఉండాలి, ఉపరితల కరుకుదనం 0.4µm కంటే తక్కువ. గ్రానైట్ భాగం యొక్క ఉపరితలం ఘర్షణ యొక్క తక్కువ గుణకాన్ని కలిగి ఉందని ఇది నిర్ధారిస్తుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ పరికరాల సున్నితమైన ఆపరేషన్‌కు కీలకం.

4. థర్మల్ విస్తరణ గుణకం: సెమీకండక్టర్ పరికరాలు వేర్వేరు ఉష్ణోగ్రతలలో పనిచేస్తాయి మరియు గ్రానైట్ భాగాలు వైకల్యం లేకుండా ఉష్ణ హెచ్చుతగ్గులను తట్టుకోగలగాలి. సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో ఉపయోగించే గ్రానైట్ యొక్క ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం 2 x 10^-6 /. C కంటే తక్కువగా ఉండాలి.

5. డైమెన్షనల్ టాలరెన్స్: గ్రానైట్ భాగాల పనితీరుకు డైమెన్షనల్ టాలరెన్స్ చాలా ముఖ్యమైనది. గ్రానైట్ భాగాల యొక్క డైమెన్షనల్ టాలరెన్స్ అన్ని క్లిష్టమైన కొలతలకు ± 0.1 మిమీ లోపల ఉండాలి.

6. కాఠిన్యం మరియు దుస్తులు నిరోధకత: సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో ఉపయోగించే గ్రానైట్ భాగాలకు కాఠిన్యం మరియు దుస్తులు నిరోధకత అవసరమైన లక్షణాలు. గ్రానైట్ MOHS స్కేల్ 6-7 యొక్క కాఠిన్యాన్ని కలిగి ఉంది, ఇది సెమీకండక్టర్ పరికరాల అనువర్తనాల్లో ఉపయోగం కోసం అనువైన పదార్థంగా మారుతుంది.

7. ఇన్సులేషన్ పనితీరు: సున్నితమైన ఎలక్ట్రానిక్ భాగాలకు నష్టాన్ని నివారించడానికి సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో ఉపయోగించే గ్రానైట్ భాగాలు అద్భుతమైన ఇన్సులేషన్ పనితీరును కలిగి ఉండాలి. విద్యుత్ నిరోధకత 10^9 ω/cm పైన ఉండాలి.

8. రసాయన నిరోధకత: గ్రానైట్ భాగాలు సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే సాధారణ రసాయనాలకు నిరోధకతను కలిగి ఉండాలి, ఆమ్లాలు మరియు అల్కాలిస్.

ముగింపులో, సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో ఉపయోగించే గ్రానైట్ భాగాల ప్రమాణాలు మరియు లక్షణాలు అవి ఉపయోగించిన భాగాలు మరియు పరికరాల యొక్క దీర్ఘాయువు మరియు విశ్వసనీయతను నిర్ధారించడానికి కీలకమైనవి. పై మార్గదర్శకాలు రూపకల్పన, కల్పన మరియు సంస్థాపనా ప్రక్రియల సమయంలో ఖచ్చితంగా కట్టుబడి ఉండాలి. ఈ ప్రమాణాలు మరియు స్పెసిఫికేషన్లను అనుసరించడం ద్వారా, సెమీకండక్టర్ తయారీదారులు వారి పరికరాల పనితీరు సరైనదని నిర్ధారించవచ్చు, ఇది ఉత్పాదకత మరియు లాభదాయకతకు దారితీస్తుంది.