ఉన్నతమైన ఉపరితల ముగింపు, అధిక దృ ff త్వం మరియు అద్భుతమైన వైబ్రేషన్ డంపింగ్ వంటి అద్భుతమైన లక్షణాల కారణంగా గ్రానైట్ భాగాలు సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడ్డాయి. సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ పరికరాలకు గ్రానైట్ భాగాలు అవసరం, వీటిలో లితోగ్రఫీ యంత్రాలు, పాలిషింగ్ యంత్రాలు మరియు మెట్రాలజీ వ్యవస్థలు ఉన్నాయి, ఎందుకంటే అవి తయారీ ప్రక్రియలో ఖచ్చితమైన స్థానం మరియు స్థిరత్వాన్ని అందిస్తాయి. గ్రానైట్ భాగాలను ఉపయోగించడం వల్ల కలిగే అన్ని ప్రయోజనాలు ఉన్నప్పటికీ, వాటికి లోపాలు కూడా ఉన్నాయి. ఈ వ్యాసంలో, సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియ ఉత్పత్తుల కోసం గ్రానైట్ భాగాల లోపాలను మేము చర్చిస్తాము.
మొదట, గ్రానైట్ భాగాలు అధిక ఉష్ణ విస్తరణ గుణకాన్ని కలిగి ఉంటాయి. దీని అర్థం అవి ఉష్ణ ఒత్తిడిలో గణనీయంగా విస్తరిస్తాయి, ఇది తయారీ ప్రక్రియలో సమస్యలను కలిగిస్తుంది. సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియకు ఉష్ణ ఒత్తిడి కారణంగా రాజీపడే అధిక ఖచ్చితత్వం మరియు డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వం అవసరం. ఉదాహరణకు, ఉష్ణ విస్తరణ కారణంగా సిలికాన్ పొర వైకల్యం లితోగ్రఫీ సమయంలో అమరిక సమస్యలను కలిగిస్తుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ పరికరం యొక్క నాణ్యతను రాజీ చేస్తుంది.
రెండవది, గ్రానైట్ భాగాలు సచ్ఛిద్ర లోపాలను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో వాక్యూమ్ లీక్లకు కారణమవుతాయి. వ్యవస్థలో గాలి లేదా ఇతర వాయువు యొక్క ఉనికి పొర యొక్క ఉపరితలంపై కలుషితానికి కారణమవుతుంది, దీని ఫలితంగా సెమీకండక్టర్ పరికరం పనితీరును ప్రభావితం చేసే లోపాలు ఏర్పడతాయి. ఆర్గాన్ మరియు హీలియం వంటి జడ వాయువులు పోరస్ గ్రానైట్ భాగాలలోకి ప్రవేశిస్తాయి మరియు వాక్యూమ్ ప్రాసెస్ యొక్క సమగ్రతకు ఆటంకం కలిగించే గ్యాస్ బుడగలు సృష్టించగలవు.
మూడవది, గ్రానైట్ భాగాలు మైక్రోఫ్రాక్చర్లను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి తయారీ ప్రక్రియ యొక్క ఖచ్చితత్వానికి ఆటంకం కలిగిస్తాయి. గ్రానైట్ అనేది పెళుసైన పదార్థం, ఇది కాలక్రమేణా మైక్రోఫ్రాక్చర్లను అభివృద్ధి చేయగలదు, ముఖ్యంగా స్థిరమైన ఒత్తిడి చక్రాలకు గురైనప్పుడు. మైక్రోఫ్రాక్చర్స్ ఉనికి డైమెన్షనల్ అస్థిరతకు దారితీస్తుంది, ఇది ఉత్పాదక ప్రక్రియలో ముఖ్యమైన సమస్యలను కలిగిస్తుంది, లిథోగ్రఫీ అమరిక లేదా పొర పాలిషింగ్ వంటివి.
నాల్గవది, గ్రానైట్ భాగాలు పరిమిత వశ్యతను కలిగి ఉంటాయి. సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియకు వేర్వేరు ప్రక్రియ మార్పులకు అనుగుణంగా ఉండే సరళమైన పరికరాలు అవసరం. అయినప్పటికీ, గ్రానైట్ భాగాలు దృ g ంగా ఉంటాయి మరియు వేర్వేరు ప్రక్రియ మార్పులకు అనుగుణంగా ఉండవు. అందువల్ల, ఉత్పాదక ప్రక్రియలో ఏవైనా మార్పులు గ్రానైట్ భాగాలను తొలగించడం లేదా భర్తీ చేయడం అవసరం, ఇది సమయ వ్యవధికి దారితీస్తుంది మరియు ఉత్పాదకతను ప్రభావితం చేస్తుంది.
ఐదవ, గ్రానైట్ భాగాలకు వాటి బరువు మరియు పెళుసుదనం కారణంగా ప్రత్యేక నిర్వహణ మరియు రవాణా అవసరం. గ్రానైట్ అనేది దట్టమైన మరియు భారీ పదార్థం, దీనికి క్రేన్లు మరియు లిఫ్టర్లు వంటి ప్రత్యేకమైన నిర్వహణ పరికరాలు అవసరం. అదనంగా, గ్రానైట్ భాగాలకు రవాణా సమయంలో నష్టాన్ని నివారించడానికి జాగ్రత్తగా ప్యాకింగ్ మరియు రవాణా అవసరం, ఇది అదనపు ఖర్చులు మరియు సమయానికి దారితీస్తుంది.
ముగింపులో, గ్రానైట్ భాగాలు సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియ ఉత్పత్తుల నాణ్యత మరియు ఉత్పాదకతను ప్రభావితం చేసే కొన్ని లోపాలను కలిగి ఉంటాయి. మైక్రోఫ్రాక్చర్స్ మరియు సచ్ఛిద్ర లోపాల కోసం ఆవర్తన తనిఖీ, కాలుష్యాన్ని నివారించడానికి సరైన శుభ్రపరచడం మరియు రవాణా సమయంలో జాగ్రత్తగా నిర్వహించడం వంటి గ్రానైట్ భాగాల జాగ్రత్తగా నిర్వహించడం మరియు నిర్వహించడం ద్వారా ఈ లోపాలను తగ్గించవచ్చు. లోపాలు ఉన్నప్పటికీ, గ్రానైట్ భాగాలు సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో వాటి ఉన్నతమైన ఉపరితల ముగింపు, అధిక దృ ff త్వం మరియు అద్భుతమైన వైబ్రేషన్ డంపింగ్ కారణంగా ఒక ముఖ్యమైన భాగంగా ఉన్నాయి.
పోస్ట్ సమయం: DEC-05-2023