గ్రానైట్ భాగాలు సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి, వాటి అద్భుతమైన లక్షణాలైన ఉన్నతమైన ఉపరితల ముగింపు, అధిక దృఢత్వం మరియు అద్భుతమైన వైబ్రేషన్ డంపింగ్ వంటివి ఉన్నాయి.లితోగ్రఫీ యంత్రాలు, పాలిషింగ్ మెషీన్లు మరియు మెట్రాలజీ సిస్టమ్లతో సహా సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ పరికరాలకు గ్రానైట్ భాగాలు చాలా అవసరం, ఎందుకంటే అవి తయారీ ప్రక్రియలో ఖచ్చితమైన స్థానం మరియు స్థిరత్వాన్ని అందిస్తాయి.గ్రానైట్ భాగాలను ఉపయోగించడం వల్ల కలిగే అన్ని ప్రయోజనాలు ఉన్నప్పటికీ, వాటికి లోపాలు కూడా ఉన్నాయి.ఈ వ్యాసంలో, సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియ ఉత్పత్తుల కోసం గ్రానైట్ భాగాల లోపాలను మేము చర్చిస్తాము.
మొదట, గ్రానైట్ భాగాలు అధిక ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం కలిగి ఉంటాయి.థర్మల్ ఒత్తిడిలో అవి గణనీయంగా విస్తరిస్తాయి, ఇది తయారీ ప్రక్రియలో సమస్యలను కలిగిస్తుంది.సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియకు అధిక ఖచ్చితత్వం మరియు డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వం అవసరం, ఇది ఉష్ణ ఒత్తిడి కారణంగా రాజీపడవచ్చు.ఉదాహరణకు, థర్మల్ విస్తరణ కారణంగా సిలికాన్ పొర వైకల్యం లితోగ్రఫీ సమయంలో అమరిక సమస్యలను కలిగిస్తుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ పరికరం యొక్క నాణ్యతను రాజీ చేస్తుంది.
రెండవది, గ్రానైట్ భాగాలు సచ్ఛిద్రత లోపాలను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో వాక్యూమ్ లీక్లకు కారణమవుతాయి.సిస్టమ్లో గాలి లేదా ఏదైనా ఇతర వాయువు ఉండటం వల్ల పొర ఉపరితలంపై కాలుష్యం ఏర్పడవచ్చు, ఫలితంగా సెమీకండక్టర్ పరికరం పనితీరును ప్రభావితం చేసే లోపాలు ఏర్పడతాయి.ఆర్గాన్ మరియు హీలియం వంటి జడ వాయువులు పోరస్ గ్రానైట్ భాగాలలోకి ప్రవేశిస్తాయి మరియు వాక్యూమ్ ప్రక్రియ యొక్క సమగ్రతకు అంతరాయం కలిగించే గ్యాస్ బుడగలు సృష్టించబడతాయి.
మూడవది, గ్రానైట్ భాగాలు మైక్రోఫ్రాక్చర్లను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి తయారీ ప్రక్రియ యొక్క ఖచ్చితత్వానికి అంతరాయం కలిగిస్తాయి.గ్రానైట్ అనేది పెళుసు పదార్థం, ఇది కాలక్రమేణా మైక్రోఫ్రాక్చర్లను అభివృద్ధి చేయగలదు, ప్రత్యేకించి స్థిరమైన ఒత్తిడి చక్రాలకు గురైనప్పుడు.మైక్రోఫ్రాక్చర్ల ఉనికి డైమెన్షనల్ అస్థిరతకు దారితీయవచ్చు, తయారీ ప్రక్రియలో లితోగ్రఫీ అమరిక లేదా పొర పాలిషింగ్ వంటి ముఖ్యమైన సమస్యలను కలిగిస్తుంది.
నాల్గవది, గ్రానైట్ భాగాలు పరిమిత వశ్యతను కలిగి ఉంటాయి.సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియకు విభిన్న ప్రక్రియ మార్పులకు అనుగుణంగా ఉండే సౌకర్యవంతమైన పరికరాలు అవసరం.అయినప్పటికీ, గ్రానైట్ భాగాలు దృఢంగా ఉంటాయి మరియు వివిధ ప్రక్రియ మార్పులకు అనుగుణంగా ఉండవు.అందువల్ల, తయారీ ప్రక్రియలో ఏవైనా మార్పులు గ్రానైట్ భాగాలను తీసివేయడం లేదా భర్తీ చేయడం అవసరం, ఇది పనికిరాని సమయానికి దారి తీస్తుంది మరియు ఉత్పాదకతను ప్రభావితం చేస్తుంది.
ఐదవది, గ్రానైట్ భాగాలు వాటి బరువు మరియు దుర్బలత్వం కారణంగా ప్రత్యేక నిర్వహణ మరియు రవాణా అవసరం.గ్రానైట్ అనేది ఒక దట్టమైన మరియు భారీ పదార్థం, దీనికి క్రేన్లు మరియు లిఫ్టర్లు వంటి ప్రత్యేక నిర్వహణ పరికరాలు అవసరం.అదనంగా, గ్రానైట్ భాగాలు రవాణా సమయంలో నష్టాన్ని నివారించడానికి జాగ్రత్తగా ప్యాకింగ్ మరియు రవాణా అవసరం, ఇది అదనపు ఖర్చులు మరియు సమయానికి దారి తీస్తుంది.
ముగింపులో, గ్రానైట్ భాగాలు సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియ ఉత్పత్తుల నాణ్యత మరియు ఉత్పాదకతను ప్రభావితం చేసే కొన్ని లోపాలను కలిగి ఉన్నాయి.మైక్రోఫ్రాక్చర్లు మరియు సచ్ఛిద్రత లోపాల కోసం క్రమానుగతంగా తనిఖీ చేయడం, కాలుష్యాన్ని నివారించడానికి సరైన శుభ్రపరచడం మరియు రవాణా సమయంలో జాగ్రత్తగా నిర్వహించడం వంటి గ్రానైట్ భాగాలను జాగ్రత్తగా నిర్వహించడం మరియు నిర్వహించడం ద్వారా ఈ లోపాలను తగ్గించవచ్చు.లోపాలు ఉన్నప్పటికీ, గ్రానైట్ భాగాలు సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో వాటి ఉన్నతమైన ఉపరితల ముగింపు, అధిక దృఢత్వం మరియు అద్భుతమైన వైబ్రేషన్ డంపింగ్ కారణంగా ముఖ్యమైన భాగంగా ఉన్నాయి.
పోస్ట్ సమయం: డిసెంబర్-05-2023