గ్రానైట్ బేస్ ఉపయోగించి సింగిల్ యాక్సిస్ ఎయిర్ ఫ్లోట్ అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ మోషన్ మాడ్యూల్ యొక్క అప్లికేషన్ ఫీల్డ్.

సెమీకండక్టర్ తయారీ: చిప్ తయారీ ప్రక్రియలో, ఫోటోలిథోగ్రఫీ ప్రక్రియ సర్క్యూట్ నమూనాను వేఫర్‌కు ఖచ్చితంగా బదిలీ చేయాలి. సింగిల్ యాక్సిస్ ఎయిర్ ఫ్లోటింగ్ అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ మోషన్ మాడ్యూల్ యొక్క గ్రానైట్ బేస్ లితోగ్రఫీ పరికరాలలో వేఫర్ టేబుల్‌కు అధిక ఖచ్చితత్వ స్థానీకరణ మరియు స్థిరమైన మద్దతును అందిస్తుంది. ఉదాహరణకు, ASML మరియు ఇతర అంతర్జాతీయంగా ప్రసిద్ధి చెందిన లితోగ్రఫీ యంత్ర తయారీదారులు తమ హై-ఎండ్ పరికరాలలో గ్రానైట్ బేస్ ఎయిర్ ఫ్లోటింగ్ మోషన్ మాడ్యూళ్ళను ఉపయోగిస్తారు, ఇది లితోగ్రఫీ నమూనా యొక్క ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి నానోమీటర్ స్థాయిలో వేఫర్ యొక్క స్థాన ఖచ్చితత్వాన్ని నియంత్రించగలదు, తద్వారా చిప్ యొక్క ఏకీకరణ మరియు పనితీరును మెరుగుపరుస్తుంది.
ప్రెసిషన్ మెజర్‌మెంట్ ఫీల్డ్: CMM అనేది పారిశ్రామిక ఉత్పత్తిలో సాధారణంగా ఉపయోగించే ఒక ప్రెసిషన్ కొలత పరికరం, ఇది వర్క్‌పీస్ యొక్క పరిమాణం, ఆకారం మరియు స్థాన ఖచ్చితత్వాన్ని కొలవడానికి ఉపయోగించబడుతుంది. గ్రానైట్ బేస్‌పై ఉన్న సింగిల్ యాక్సిస్ ఎయిర్ ఫ్లోట్ యొక్క అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ మోషన్ మాడ్యూల్‌ను CMM యొక్క మోషన్ ప్లాట్‌ఫామ్‌గా ఉపయోగించవచ్చు, ఇది అధిక-ప్రెసిషన్ లీనియర్ మోషన్‌ను గ్రహించగలదు మరియు కొలిచే ప్రోబ్ కోసం స్థిరమైన మోషన్ పథాన్ని అందిస్తుంది. ఉదాహరణకు, షడ్భుజి యొక్క హై-ఎండ్ CMM ఈ కలయికను మైక్రాన్ స్థాయి వరకు కొలిచే ఖచ్చితత్వంతో పెద్ద మరియు సంక్లిష్టమైన భాగాలను కొలవడానికి ఉపయోగిస్తుంది, ఆటోమోటివ్, ఏరోస్పేస్ మరియు ఇతర పరిశ్రమలలో విడిభాగాల నాణ్యత నియంత్రణకు బలమైన హామీని అందిస్తుంది.
ఏరోస్పేస్ ఫీల్డ్: ఏరోస్పేస్ భాగాల ప్రాసెసింగ్ మరియు పరీక్షలో, అధిక ఖచ్చితత్వం అవసరం. ఉదాహరణకు, ఎయిర్‌క్రాఫ్ట్ ఇంజిన్ బ్లేడ్‌ల మ్యాచింగ్‌కు బ్లేడ్ ప్రొఫైల్ ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి సాధనం యొక్క చలన పథం యొక్క ఖచ్చితమైన నియంత్రణ అవసరం. సింగిల్ యాక్సిస్ ఎయిర్ ఫ్లోట్ అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ మోషన్ మాడ్యూల్ యొక్క గ్రానైట్ బేస్‌ను ఐదు-యాక్సిస్ మ్యాచింగ్ సెంటర్ మరియు ఇతర పరికరాలకు వర్తింపజేయవచ్చు, ఇది సాధనం కోసం అధిక-ఖచ్చితమైన చలన నియంత్రణను అందిస్తుంది మరియు బ్లేడ్ యొక్క మ్యాచింగ్ ఖచ్చితత్వం డిజైన్ అవసరాలను తీర్చగలదని నిర్ధారించుకోవచ్చు. అదే సమయంలో, ఏరో ఇంజిన్ యొక్క అసెంబ్లీ ప్రక్రియలో, భాగాల అసెంబ్లీ ఖచ్చితత్వాన్ని గుర్తించడానికి అధిక-ఖచ్చితమైన కొలత పరికరాలను ఉపయోగించడం కూడా అవసరం. గ్రానైట్ బేస్ యొక్క ఎయిర్ ఫ్లోటింగ్ మోషన్ మాడ్యూల్ అసెంబ్లీ నాణ్యతను నిర్ధారించడానికి కొలిచే పరికరాలకు స్థిరమైన మద్దతు మరియు ఖచ్చితమైన కదలికను అందిస్తుంది.
ఆప్టికల్ తనిఖీ క్షేత్రం: ఆప్టికల్ భాగాల తయారీ మరియు పరీక్ష ప్రక్రియలో, ఆప్టికల్ భాగాల యొక్క అధిక-ఖచ్చితత్వ స్థాన నిర్ధారణ మరియు కొలతను నిర్వహించడం అవసరం. ఉదాహరణకు, అద్దాలు మరియు లెన్స్‌లు వంటి అధిక-ఖచ్చితత్వ దృక్పథ దృక్పథ భాగాలను తయారు చేసేటప్పుడు, ఉపరితల ఆకార ఖచ్చితత్వాన్ని గుర్తించడానికి ఇంటర్‌ఫెరోమీటర్‌లు మరియు ఇతర పరికరాలను ఉపయోగించడం అవసరం. సింగిల్ యాక్సిస్ ఎయిర్ ఫ్లోటింగ్ అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ మోషన్ మాడ్యూల్ యొక్క గ్రానైట్ బేస్‌ను ఇంటర్‌ఫెరోమీటర్ యొక్క కదలిక వేదికగా ఉపయోగించవచ్చు, ఇది సబ్-మైక్రాన్ పొజిషనింగ్ ఖచ్చితత్వాన్ని గ్రహించగలదు మరియు ఆప్టికల్ భాగాల గుర్తింపు కోసం ఖచ్చితమైన డేటా మద్దతును అందిస్తుంది. అదనంగా, లేజర్ ప్రాసెసింగ్ పరికరాలలో, లేజర్ పుంజం యొక్క స్కానింగ్ పథాన్ని నియంత్రించడానికి అధిక-ఖచ్చితత్వ దృక్పథాన్ని ఉపయోగించడం కూడా అవసరం, ఎయిర్ ఫ్లోటింగ్ మోషన్ మాడ్యూల్ యొక్క గ్రానైట్ బేస్ ఈ అవసరాన్ని తీర్చగలదు, అధిక-ఖచ్చితత్వ లేజర్ ప్రాసెసింగ్‌ను సాధించడానికి.