సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క ఖచ్చితమైన గొలుసులో, వేఫర్ బదిలీ వ్యవస్థ "చిప్ ఉత్పత్తి రేఖ యొక్క లైఫ్లైన్" లాంటిది, మరియు దాని స్థిరత్వం మరియు ఖచ్చితత్వం నేరుగా చిప్ల దిగుబడి రేటును నిర్ణయిస్తాయి. కొత్త తరం వేఫర్ బదిలీ వ్యవస్థలు విప్లవాత్మకంగా లీనియర్ మోటార్లను గ్రానైట్ బేస్లతో మిళితం చేస్తాయి మరియు గ్రానైట్ పదార్థాల యొక్క ప్రత్యేక ప్రయోజనాలు అధిక-పనితీరు గల ప్రసారాన్ని అన్లాక్ చేయడానికి ఖచ్చితంగా కోర్ కోడ్.
గ్రానైట్ బేస్: స్థిరమైన ప్రసారం కోసం "రాతి-ఘన పునాది"ని నిర్మించడం.
గ్రానైట్ వందల మిలియన్ల సంవత్సరాల భౌగోళిక శుద్ధీకరణకు గురైంది, దట్టమైన మరియు ఏకరీతి అంతర్గత ఖనిజ స్ఫటికీకరణను కలిగి ఉంది. ఈ సహజ లక్షణం దీనిని వేఫర్ బదిలీ వ్యవస్థలకు అనువైన మూల పదార్థంగా చేస్తుంది. సెమీకండక్టర్ క్లీన్రూమ్ల సంక్లిష్ట వాతావరణంలో, గ్రానైట్, దాని అతి తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం (కేవలం 5-7 × 10⁻⁶/℃)తో, పరికరాల ఆపరేషన్ సమయంలో ఉత్పన్నమయ్యే వేడిని మరియు పర్యావరణ ఉష్ణోగ్రత మార్పుల ప్రభావాన్ని నిరోధించగలదు, బేస్ పరిమాణం యొక్క స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది మరియు థర్మల్ డిఫార్మేషన్ వల్ల కలిగే ప్రసార మార్గం విచలనాన్ని నివారిస్తుంది. దీని అత్యుత్తమ వైబ్రేషన్ డంపింగ్ పనితీరు లీనియర్ మోటార్ల ప్రారంభం, షట్డౌన్ మరియు త్వరణం సమయంలో ఉత్పన్నమయ్యే యాంత్రిక కంపనాలను, అలాగే వర్క్షాప్లోని ఇతర పరికరాల ఆపరేషన్ ద్వారా వచ్చే బాహ్య జోక్యాలను త్వరగా గ్రహించగలదు, వేఫర్ ట్రాన్స్మిషన్ కోసం "జీరో షేక్"తో స్థిరమైన ప్లాట్ఫామ్ను అందిస్తుంది.
ఇంతలో, గ్రానైట్ యొక్క రసాయన స్థిరత్వం ఆమ్లం మరియు క్షార కారకాలు అస్థిరంగా ఉండే మరియు అధిక శుభ్రత అవసరమయ్యే సెమీకండక్టర్ వర్క్షాప్లలో తుప్పు పట్టకుండా లేదా తుప్పు పట్టకుండా నిర్ధారిస్తుంది, తద్వారా పదార్థ వృద్ధాప్యం లేదా కాలుష్య కారకాల శోషణ కారణంగా ప్రసార ఖచ్చితత్వంపై ప్రభావాన్ని నివారిస్తుంది. మృదువైన మరియు దట్టమైన ఉపరితల లక్షణాలు ధూళి సంశ్లేషణను మరింత సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తాయి, శుభ్రమైన గదుల యొక్క కఠినమైన దుమ్ము-రహిత ప్రమాణాలను తీరుస్తాయి మరియు మూలం నుండి పొర కాలుష్యం ప్రమాదాన్ని తొలగిస్తాయి.
లీనియర్ మోటార్లు మరియు గ్రానైట్ యొక్క "గోల్డెన్ పార్టనర్షిప్" ప్రభావం
యాంత్రిక ప్రసార క్లియరెన్స్ లేని, అధిక త్వరణం మరియు అధిక ప్రతిస్పందన వేగం వంటి లక్షణాలతో కూడిన లీనియర్ మోటార్లు, వేఫర్ ట్రాన్స్మిషన్ను "వేగవంతమైన, ఖచ్చితమైన మరియు స్థిరమైన" ప్రయోజనాలతో అందిస్తాయి. గ్రానైట్ బేస్ దానికి దృఢమైన మరియు నమ్మదగిన మద్దతు వేదికను అందిస్తుంది. పనితీరులో ఒక లీపును సాధించడానికి రెండూ కలిసి పనిచేస్తాయి. లీనియర్ మోటారు వేఫర్ క్యారియర్ను గ్రానైట్ బేస్ ట్రాక్పై నడపడానికి నడిపినప్పుడు, బేస్ యొక్క బలమైన దృఢత్వం మరియు స్థిరత్వం మోటారు చోదక శక్తి యొక్క సమర్థవంతమైన ప్రసారాన్ని నిర్ధారిస్తాయి, బేస్ డిఫార్మేషన్ వల్ల కలిగే శక్తి నష్టం లేదా ప్రసార లాగ్ను నివారిస్తాయి.
నానోస్కేల్ ఖచ్చితత్వానికి ఉన్న డిమాండ్ కారణంగా, లీనియర్ మోటార్లు సబ్-మైక్రాన్-స్థాయి స్థానభ్రంశం నియంత్రణను సాధించగలవు. గ్రానైట్ బేస్ల యొక్క అధిక-ఖచ్చితత్వ ప్రాసెసింగ్ లక్షణాలు (±1μm లోపల నియంత్రించబడే ఫ్లాట్నెస్ ఎర్రర్లతో) లీనియర్ మోటార్ల యొక్క ఖచ్చితమైన నియంత్రణకు సరిగ్గా సరిపోతాయి, వేఫర్ ట్రాన్స్మిషన్ సమయంలో పొజిషనింగ్ ఎర్రర్ ±5μm కంటే తక్కువగా ఉందని సంయుక్తంగా నిర్ధారిస్తుంది. వివిధ ప్రాసెస్ పరికరాలలో హై-స్పీడ్ షట్లింగ్ అయినా లేదా వేఫర్ హ్యాండ్ఓవర్ కోసం ఖచ్చితమైన పార్కింగ్ అయినా, లీనియర్ మోటార్లు మరియు గ్రానైట్ బేస్ల కలయిక వేఫర్ ట్రాన్స్మిషన్లో "సున్నా విచలనం మరియు సున్నా జిట్టర్"ని నిర్ధారించగలదు.
పరిశ్రమ సాధన ధృవీకరణ: సామర్థ్యం మరియు దిగుబడి రేటులో ద్వంద్వ మెరుగుదల
దాని వేఫర్ ట్రాన్స్ఫర్ సిస్టమ్ను అప్గ్రేడ్ చేసిన తర్వాత, ఒక ప్రముఖ గ్లోబల్ సెమీకండక్టర్ ఎంటర్ప్రైజ్ లీనియర్ మోటార్ + గ్రానైట్ బేస్ సొల్యూషన్ను స్వీకరించింది, ఇది వేఫర్ ట్రాన్స్ఫర్ సామర్థ్యాన్ని 40% పెంచింది, బదిలీ ప్రక్రియలో ఢీకొనడం మరియు ఆఫ్సెట్ వంటి లోపాల సంభవించే రేటును 85% తగ్గించింది మరియు చిప్ల మొత్తం దిగుబడి రేటును 6% మెరుగుపరిచింది. డేటా వెనుక గ్రానైట్ బేస్ అందించే ట్రాన్స్మిషన్ స్థిరత్వం యొక్క హామీ మరియు లీనియర్ మోటార్ యొక్క హై-స్పీడ్ మరియు ఖచ్చితమైన సినర్జీ ప్రభావం ఉన్నాయి, ఇది వేఫర్ ట్రాన్స్మిషన్ ప్రక్రియలో నష్టం మరియు లోపాన్ని గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది.
పదార్థ లక్షణాల నుండి ఖచ్చితత్వ తయారీ వరకు, పనితీరు ప్రయోజనాల నుండి ఆచరణాత్మక ధృవీకరణ వరకు, లీనియర్ మోటార్లు మరియు గ్రానైట్ బేస్ల కలయిక వేఫర్ బదిలీ వ్యవస్థల ప్రమాణాలను పునర్నిర్వచించింది. భవిష్యత్తులో సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీ 3nm మరియు 2nm ప్రక్రియల వైపు పురోగమించినప్పుడు, గ్రానైట్ పదార్థాలు వాటి భర్తీ చేయలేని ప్రయోజనాలతో పరిశ్రమ అభివృద్ధికి బలమైన ప్రేరణనిస్తూనే ఉంటాయి.
పోస్ట్ సమయం: మే-14-2025