అధిక స్థిరత్వం, తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ మరియు తుప్పుకు అధిక నిరోధకత వంటి అద్భుతమైన లక్షణాల కారణంగా గ్రానైట్ పదార్థాలు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. ఈ లక్షణాలు గ్రానైట్ను పొర బదిలీ వ్యవస్థలో అధిక-ఖచ్చితమైన భాగాలను నిర్మించడానికి అనువైన పదార్థంగా చేస్తాయి.
సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో, తయారీ ప్రక్రియ యొక్క వివిధ దశలలో పొరలను రవాణా చేయడంలో పొర బదిలీ వ్యవస్థ కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. ఖచ్చితత్వం మరియు ఖచ్చితత్వం ఈ వ్యవస్థలకు అవసరమైన అవసరాలు, ఎందుకంటే స్వల్ప విచలనాలు కూడా మొత్తం ప్రక్రియను దెబ్బతీస్తాయి. అందువల్ల, పొర బదిలీ వ్యవస్థలోని భాగాలు అధిక-నాణ్యత పదార్థాల నుండి తయారు చేయబడాలి మరియు గ్రానైట్ ఆ ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా ఉంటుంది.
గ్రానైట్ పదార్థాల నుండి తయారైన పొర బదిలీ వ్యవస్థ యొక్క కొన్ని భాగాలు:
1. వాక్యూమ్ చక్ టేబుల్
ఈ ప్రక్రియలో వాక్యూమ్ చక్ టేబుల్ పొరను పట్టుకోవటానికి ఉపయోగించబడుతుంది మరియు పొర దెబ్బతినకుండా చూసుకోవడానికి ఇది స్థిరమైన ఉపరితలం కలిగి ఉండాలి. గ్రానైట్ ఈ పట్టికను తయారు చేయడానికి అనువైన పదార్థం ఎందుకంటే ఇది ఫ్లాట్, పోరస్ కాని ఉపరితలం కలిగి ఉంది, ఇది అధిక స్థిరత్వం మరియు ఖచ్చితత్వాన్ని అందిస్తుంది. అదనంగా, గ్రానైట్ ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకాన్ని కలిగి ఉంది, ఇది పొరలో డైమెన్షనల్ మార్పులకు కారణమయ్యే ఉష్ణోగ్రత మార్పులకు నిరోధకతను కలిగిస్తుంది.
2. ఎయిర్ బేరింగ్ స్టేజ్
తయారీ ప్రక్రియ యొక్క వివిధ దశల ద్వారా పొరను పొరను రవాణా చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు. ఘర్షణ లేని ఉద్యమాన్ని అందించడానికి వేదిక ఇంజనీరింగ్ చేయబడింది, దీనికి అధిక ఖచ్చితత్వం మరియు స్థిరత్వం అవసరం. ఈ అనువర్తనంలో గ్రానైట్ ఉపయోగించబడుతుంది ఎందుకంటే ఇది కఠినమైన మరియు కఠినమైన రాయి, మరియు ఇది వైకల్యాన్ని నిరోధిస్తుంది మరియు కాలక్రమేణా ధరిస్తుంది.
3. లీనియర్ మోషన్ గైడ్లు
లీనియర్ మోషన్ గైడ్లు గాలిని మోసే దశకు మార్గనిర్దేశం చేయడానికి ఉపయోగించబడతాయి మరియు లోపాలను తగ్గించడానికి అవి ఖచ్చితంగా ఉంచాలి. ఈ గైడ్ను నిర్మించడానికి గ్రానైట్ ఉపయోగించబడుతుంది ఎందుకంటే ఇది అద్భుతమైన యాంత్రిక స్థిరత్వం మరియు బలాన్ని కలిగి ఉంటుంది. పదార్థం కూడా తుప్పు-నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది గైడ్ వ్యవస్థ యొక్క దీర్ఘాయువును నిర్ధారిస్తుంది.
4. మెట్రాలజీ పరికరాలు
ఉత్పాదక ప్రక్రియలో పొర యొక్క కొలతలు మరియు లక్షణాలను కొలవడానికి మెట్రాలజీ పరికరాలు ఉపయోగించబడతాయి. గ్రానైట్ ఈ పరికరాన్ని నిర్మించడానికి అనువైన పదార్థం ఎందుకంటే దీనికి అధిక దృ ff త్వం, తక్కువ విస్తరణ మరియు లోడ్ కింద కనీస వైకల్యం ఉంటుంది. అంతేకాకుండా, గ్రానైట్ యొక్క ఉష్ణ స్థిరత్వం మెట్రాలజీ పరికరాలు కాలక్రమేణా స్థిరంగా మరియు ఖచ్చితమైనవిగా ఉన్నాయని నిర్ధారిస్తుంది.
ముగింపులో, సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ ఖచ్చితత్వం మరియు ఖచ్చితత్వంపై ఆధారపడుతుంది మరియు గ్రానైట్ పదార్థాలు తయారీ ప్రక్రియలో అత్యంత నమ్మదగినవి మరియు స్థిరంగా ఉన్నాయని నిరూపించబడ్డాయి. అధిక స్థిరత్వం, ఖచ్చితత్వం మరియు తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ అవసరమయ్యే పొర బదిలీ వ్యవస్థలో అనేక క్లిష్టమైన భాగాలతో, ఇంజనీర్లు ఈ క్లిష్టమైన అవసరాలను తీర్చడానికి గ్రానైట్ పదార్థాల వైపు మొగ్గు చూపారు.
పోస్ట్ సమయం: మార్చి -19-2024