వేఫర్ బదిలీ వ్యవస్థలోని ఏ భాగాలలో గ్రానైట్ పదార్థాలు ఉపయోగించబడతాయి?

అధిక స్థిరత్వం, తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ మరియు తుప్పుకు అధిక నిరోధకత వంటి అద్భుతమైన లక్షణాల కారణంగా గ్రానైట్ పదార్థాలు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి.ఈ లక్షణాలు వేఫర్ బదిలీ వ్యవస్థలో అధిక-ఖచ్చితమైన భాగాలను నిర్మించడానికి గ్రానైట్‌ను ఆదర్శవంతమైన పదార్థంగా చేస్తాయి.

సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో, తయారీ ప్రక్రియలోని వివిధ దశల్లో పొరలను రవాణా చేయడంలో పొర బదిలీ వ్యవస్థ కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది.సూక్ష్మత మరియు ఖచ్చితత్వం ఈ వ్యవస్థలకు అవసరమైన ఆవశ్యకతలు, ఎందుకంటే స్వల్ప వ్యత్యాసాలు కూడా మొత్తం ప్రక్రియను ప్రమాదంలో పడేస్తాయి.అందువల్ల, పొర బదిలీ వ్యవస్థలోని భాగాలు తప్పనిసరిగా అధిక-నాణ్యత పదార్థాల నుండి తయారు చేయబడాలి మరియు గ్రానైట్ ఆ ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా ఉంటుంది.

గ్రానైట్ పదార్థాలతో తయారు చేయబడిన పొర బదిలీ వ్యవస్థలోని కొన్ని భాగాలు:

1. వాక్యూమ్ చక్ టేబుల్

ప్రక్రియ సమయంలో పొరను పట్టుకోవడానికి వాక్యూమ్ చక్ టేబుల్ ఉపయోగించబడుతుంది మరియు పొర దెబ్బతినకుండా ఉండేలా అది స్థిరమైన ఉపరితలం కలిగి ఉండాలి.గ్రానైట్ ఈ పట్టికను తయారు చేయడానికి అనువైన పదార్థం ఎందుకంటే ఇది ఫ్లాట్, నాన్-పోరస్ ఉపరితలం కలిగి ఉంటుంది, ఇది అధిక స్థిరత్వం మరియు ఖచ్చితత్వాన్ని అందిస్తుంది.అదనంగా, గ్రానైట్ ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకం కలిగి ఉంటుంది, ఇది పొరలో డైమెన్షనల్ మార్పులకు కారణమయ్యే ఉష్ణోగ్రత మార్పులకు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది.

2. ఎయిర్-బేరింగ్ స్టేజ్

తయారీ ప్రక్రియ యొక్క వివిధ దశల ద్వారా పొరను రవాణా చేయడానికి ఎయిర్-బేరింగ్ దశ ఉపయోగించబడుతుంది.రాపిడి లేని కదలికను అందించడానికి వేదిక రూపొందించబడింది, దీనికి అధిక ఖచ్చితత్వం మరియు స్థిరత్వం అవసరం.గ్రానైట్ ఈ అప్లికేషన్‌లో ఉపయోగించబడుతుంది ఎందుకంటే ఇది దృఢమైన మరియు గట్టి రాయి, మరియు ఇది కాలక్రమేణా వైకల్యం మరియు ధరించడాన్ని నిరోధిస్తుంది.

3. లీనియర్ మోషన్ గైడ్స్

లీనియర్ మోషన్ గైడ్‌లు ఎయిర్-బేరింగ్ దశకు మార్గనిర్దేశం చేయడానికి ఉపయోగించబడతాయి మరియు లోపాలను తగ్గించడానికి వాటిని ఖచ్చితంగా ఉంచాలి.ఈ గైడ్‌ను నిర్మించడానికి గ్రానైట్ ఉపయోగించబడుతుంది ఎందుకంటే ఇది అద్భుతమైన యాంత్రిక స్థిరత్వం మరియు బలాన్ని కలిగి ఉంటుంది.పదార్థం కూడా తుప్పు-నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది గైడ్ వ్యవస్థ యొక్క దీర్ఘాయువును నిర్ధారిస్తుంది.

4. మెట్రాలజీ సామగ్రి

మెట్రాలజీ పరికరాలు తయారీ ప్రక్రియలో పొర యొక్క కొలతలు మరియు లక్షణాలను కొలవడానికి ఉపయోగిస్తారు.గ్రానైట్ ఈ పరికరాన్ని నిర్మించడానికి అనువైన పదార్థం, ఎందుకంటే ఇది అధిక దృఢత్వం, తక్కువ విస్తరణ మరియు లోడ్ కింద కనిష్ట రూపాన్ని కలిగి ఉంటుంది.అంతేకాకుండా, గ్రానైట్ యొక్క ఉష్ణ స్థిరత్వం మెట్రాలజీ పరికరాలు కాలక్రమేణా స్థిరంగా మరియు ఖచ్చితమైనదిగా ఉండేలా చేస్తుంది.

ముగింపులో, సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ ఖచ్చితత్వం మరియు ఖచ్చితత్వంపై ఆధారపడుతుంది మరియు గ్రానైట్ పదార్థాలు ఉత్పాదక ప్రక్రియలో అత్యంత విశ్వసనీయమైనవి మరియు స్థిరమైనవిగా నిరూపించబడ్డాయి.అధిక స్థిరత్వం, ఖచ్చితత్వం మరియు తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ అవసరమయ్యే పొర బదిలీ వ్యవస్థలో అనేక కీలకమైన భాగాలతో, ఈ క్లిష్టమైన అవసరాలను తీర్చడానికి ఇంజనీర్లు గ్రానైట్ పదార్థాల వైపు మొగ్గు చూపారు.