గ్రానైట్ పదార్థాలు అధిక స్థిరత్వం, తక్కువ ఉష్ణ వ్యాకోచం మరియు తుప్పుకు అధిక నిరోధకత వంటి వాటి అద్భుతమైన లక్షణాల కారణంగా సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడతాయి. ఈ లక్షణాలు వేఫర్ ట్రాన్స్ఫర్ సిస్టమ్లో అధిక-ఖచ్చితత్వ భాగాలను నిర్మించడానికి గ్రానైట్ను ఒక ఆదర్శవంతమైన పదార్థంగా చేస్తాయి.
సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో, తయారీ ప్రక్రియలోని వివిధ దశల గుండా వేఫర్లను రవాణా చేయడంలో వేఫర్ బదిలీ వ్యవస్థ కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. ఈ వ్యవస్థలకు కచ్చితత్వం మరియు ఖచ్చితమైన పనితీరు అత్యవసరం, ఎందుకంటే చిన్నపాటి వ్యత్యాసాలు కూడా మొత్తం ప్రక్రియను ప్రమాదంలో పడేస్తాయి. అందువల్ల, వేఫర్ బదిలీ వ్యవస్థలోని భాగాలు అధిక-నాణ్యత గల పదార్థాలతో తయారు చేయబడాలి, మరియు గ్రానైట్ ఆ ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా ఉంటుంది.
వేఫర్ బదిలీ వ్యవస్థలో గ్రానైట్ పదార్థాలతో తయారు చేయబడిన కొన్ని భాగాలు:
1. వాక్యూమ్ చక్ టేబుల్
ప్రక్రియ సమయంలో వేఫర్ను పట్టుకోవడానికి వాక్యూమ్ చక్ టేబుల్ను ఉపయోగిస్తారు, మరియు వేఫర్ దెబ్బతినకుండా ఉండేందుకు దీని ఉపరితలం స్థిరంగా ఉండాలి. ఈ టేబుల్ తయారీకి గ్రానైట్ ఒక ఆదర్శవంతమైన పదార్థం, ఎందుకంటే దీనికి చదునైన, రంధ్రాలు లేని ఉపరితలం ఉంటుంది, ఇది అధిక స్థిరత్వం మరియు కచ్చితత్వాన్ని అందిస్తుంది. అదనంగా, గ్రానైట్కు తక్కువ ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకం ఉండటం వల్ల, వేఫర్లో కొలతల మార్పులకు కారణమయ్యే ఉష్ణోగ్రత మార్పులను ఇది తట్టుకుంటుంది.
2. ఎయిర్-బేరింగ్ దశ
తయారీ ప్రక్రియలోని వివిధ దశల గుండా వేఫర్ను రవాణా చేయడానికి ఎయిర్-బేరింగ్ స్టేజ్ను ఉపయోగిస్తారు. అధిక కచ్చితత్వం మరియు స్థిరత్వం అవసరమయ్యే ఘర్షణ రహిత కదలికను అందించేలా ఈ స్టేజ్ను రూపొందించారు. ఈ అనువర్తనంలో గ్రానైట్ను ఉపయోగిస్తారు, ఎందుకంటే ఇది దృఢమైన మరియు గట్టి రాయి, మరియు ఇది కాలక్రమేణా ఆకారం మారడాన్ని, అరుగుదలను నిరోధిస్తుంది.
3. లీనియర్ మోషన్ గైడ్లు
ఎయిర్-బేరింగ్ స్టేజ్ను నడిపించడానికి లీనియర్ మోషన్ గైడ్లను ఉపయోగిస్తారు, మరియు లోపాలను తగ్గించడానికి వాటిని ఖచ్చితంగా అమర్చాలి. ఈ గైడ్ను నిర్మించడానికి గ్రానైట్ను ఉపయోగిస్తారు, ఎందుకంటే దీనికి అద్భుతమైన యాంత్రిక స్థిరత్వం మరియు బలం ఉన్నాయి. ఈ పదార్థం తుప్పు నిరోధకతను కూడా కలిగి ఉంటుంది, ఇది గైడ్ సిస్టమ్ యొక్క దీర్ఘాయువును నిర్ధారిస్తుంది.
4. కొలత పరికరాలు
తయారీ ప్రక్రియలో వేఫర్ యొక్క కొలతలు మరియు లక్షణాలను కొలవడానికి మెట్రాలజీ పరికరాలను ఉపయోగిస్తారు. ఈ పరికరాలను నిర్మించడానికి గ్రానైట్ ఒక ఆదర్శవంతమైన పదార్థం, ఎందుకంటే దీనికి అధిక దృఢత్వం, తక్కువ వ్యాకోచం మరియు భారం కింద కనిష్ట విరూపణం ఉంటాయి. అంతేకాకుండా, గ్రానైట్ యొక్క ఉష్ణ స్థిరత్వం, మెట్రాలజీ పరికరాలు కాలక్రమేణా స్థిరంగా మరియు కచ్చితంగా ఉండేలా నిర్ధారిస్తుంది.
ముగింపుగా, సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కచ్చితత్వం మరియు ఖచ్చితత్వంపై ఆధారపడి ఉంటుంది, మరియు తయారీ ప్రక్రియలో గ్రానైట్ పదార్థాలు అత్యంత విశ్వసనీయమైనవిగా మరియు స్థిరమైనవిగా నిరూపించబడ్డాయి. వేఫర్ ట్రాన్స్ఫర్ సిస్టమ్లోని అనేక కీలక భాగాలకు అధిక స్థిరత్వం, కచ్చితత్వం మరియు తక్కువ ఉష్ణ వ్యాకోచం అవసరం కాబట్టి, ఈ కీలక అవసరాలను తీర్చడానికి ఇంజనీర్లు గ్రానైట్ పదార్థాల వైపు మొగ్గు చూపారు.
పోస్ట్ చేసిన సమయం: మార్చి-19-2024