గ్రానైట్ ప్రెసిషన్ ప్లాట్‌ఫామ్ యొక్క ఖచ్చితత్వాన్ని ఎలా తనిఖీ చేయాలి? ఖచ్చితత్వం ప్రామాణికమైనదో లేదో నిర్ధారించుకోవాలి?

సెమీకండక్టర్ తయారీ మరియు ప్రెసిషన్ కొలిచే సాధనాల వంటి రంగాలలో, గ్రానైట్ ప్రెసిషన్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌ల ఖచ్చితత్వం నేరుగా పరికరాల కార్యాచరణ నాణ్యతను నిర్ణయిస్తుంది. ప్లాట్‌ఫారమ్ యొక్క ఖచ్చితత్వం ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా ఉందని నిర్ధారించుకోవడానికి, రెండు అంశాల నుండి ప్రయత్నాలు చేయాలి: కీలక సూచికలను గుర్తించడం మరియు ప్రామాణిక నిబంధనలకు అనుగుణంగా ఉండటం.

కోర్ ఇండికేటర్ డిటెక్షన్: ఖచ్చితత్వం యొక్క బహుళ-డైమెన్షనల్ నియంత్రణ
ఫ్లాట్‌నెస్ డిటెక్షన్: రిఫరెన్స్ ప్లేన్ యొక్క "ఫ్లాట్‌నెస్" ని నిర్ణయించడం
గ్రానైట్ ప్రెసిషన్ ప్లాట్‌ఫామ్‌ల యొక్క ప్రధాన సూచిక ఫ్లాట్‌నెస్, మరియు దీనిని సాధారణంగా లేజర్ ఇంటర్‌ఫెరోమీటర్లు లేదా ఎలక్ట్రానిక్ స్థాయిల ద్వారా కొలుస్తారు. లేజర్ ఇంటర్‌ఫెరోమీటర్ లేజర్ పుంజాన్ని విడుదల చేయడం ద్వారా మరియు కాంతి జోక్యం సూత్రాన్ని ఉపయోగించడం ద్వారా ప్లాట్‌ఫామ్ ఉపరితలంపై సూక్ష్మమైన తరంగాలను ఖచ్చితంగా కొలవగలదు, దీని ఖచ్చితత్వం సబ్-మైక్రాన్ స్థాయికి చేరుకుంటుంది. ఎలక్ట్రానిక్ స్థాయి అనేకసార్లు కదలడం ద్వారా కొలుస్తుంది మరియు ఏదైనా స్థానిక ప్రోట్రూషన్‌లు లేదా డిప్రెషన్‌లు ఉన్నాయో లేదో గుర్తించడానికి ప్లాట్‌ఫామ్ ఉపరితలం యొక్క త్రిమితీయ ఆకృతి మ్యాప్‌ను గీస్తుంది. ఉదాహరణకు, సెమీకండక్టర్ ఫోటోలిథోగ్రఫీ యంత్రాలలో ఉపయోగించే గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫామ్‌లు ±0.5μm/m ఫ్లాట్‌నెస్ కలిగి ఉండాలి, అంటే 1-మీటర్ పొడవులో ఎత్తు వ్యత్యాసం అర మైక్రోమీటర్ మించకూడదు. అధిక-ఖచ్చితత్వ గుర్తింపు పరికరాల ద్వారా మాత్రమే ఈ కఠినమైన ప్రమాణాన్ని నిర్ధారించవచ్చు. ​
2. స్ట్రెయిట్‌నెస్ డిటెక్షన్: లీనియర్ మోషన్ యొక్క "స్ట్రెయిట్‌నెస్" ని నిర్ధారించండి
ఖచ్చితమైన కదిలే భాగాలను కలిగి ఉన్న ప్లాట్‌ఫామ్‌లకు, సరళత చాలా ముఖ్యమైనది. గుర్తించడానికి సాధారణ పద్ధతులు వైర్ పద్ధతి లేదా లేజర్ కొలిమేటర్. వైర్ పద్ధతిలో అధిక-ఖచ్చితమైన ఉక్కు వైర్లను సస్పెండ్ చేయడం మరియు ప్లాట్‌ఫారమ్ ఉపరితలం మరియు ఉక్కు వైర్ల మధ్య అంతరాన్ని పోల్చడం ద్వారా సరళతను నిర్ణయిస్తారు. ప్లాట్‌ఫారమ్ గైడ్ రైలు యొక్క ఇన్‌స్టాలేషన్ ఉపరితలం యొక్క సరళ లోపాన్ని గుర్తించడానికి లేజర్ కొలిమేటర్ లేజర్ యొక్క సరళ ప్రచార లక్షణాలను ఉపయోగిస్తుంది. సరళత ప్రమాణానికి అనుగుణంగా లేకపోతే, అది కదలిక సమయంలో పరికరాలను మార్చడానికి కారణమవుతుంది, ఇది ప్రాసెసింగ్ లేదా కొలత ఖచ్చితత్వాన్ని ప్రభావితం చేస్తుంది.
3. ఉపరితల కరుకుదన గుర్తింపు: స్పర్శ యొక్క "సున్నితత్వం"ని నిర్ధారించుకోండి
ప్లాట్‌ఫామ్ యొక్క ఉపరితల కరుకుదనం భాగాల సంస్థాపన యొక్క అమరికను ప్రభావితం చేస్తుంది. సాధారణంగా, స్టైలస్ కరుకుదనం మీటర్ లేదా ఆప్టికల్ మైక్రోస్కోప్‌ను గుర్తించడానికి ఉపయోగిస్తారు. స్టైలస్ రకం పరికరం ప్లాట్‌ఫామ్ ఉపరితలాన్ని చక్కటి ప్రోబ్‌తో సంప్రదించడం ద్వారా మైక్రోస్కోపిక్ ప్రొఫైల్ యొక్క ఎత్తు మార్పులను నమోదు చేస్తుంది. ఆప్టికల్ మైక్రోస్కోప్‌లు ఉపరితల ఆకృతిని నేరుగా గమనించగలవు. అధిక-ఖచ్చితత్వ అనువర్తనాల్లో, గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌ల ఉపరితల కరుకుదనాన్ని Ra≤0.05μm వద్ద నియంత్రించాలి, ఇది అద్దం లాంటి ప్రభావానికి సమానం, సంస్థాపన సమయంలో ఖచ్చితత్వ భాగాలు గట్టిగా సరిపోతాయని నిర్ధారిస్తుంది మరియు అంతరాల వల్ల కలిగే కంపనం లేదా స్థానభ్రంశాన్ని నివారిస్తుంది. ​
ఖచ్చితత్వ ప్రమాణాలు ఈ క్రింది విధంగా ఉంటాయి: అంతర్జాతీయ నిబంధనలు మరియు సంస్థ యొక్క అంతర్గత నియంత్రణ
ప్రస్తుతం, అంతర్జాతీయంగా, గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌ల ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ణయించడానికి ISO 25178 మరియు GB/T 24632 ప్రమాణాలను సాధారణంగా ప్రాతిపదికగా ఉపయోగిస్తున్నారు మరియు ఫ్లాట్‌నెస్ మరియు స్ట్రెయిట్‌నెస్ వంటి సూచికలకు స్పష్టమైన వర్గీకరణలు ఉన్నాయి. అదనంగా, హై-ఎండ్ తయారీ సంస్థలు తరచుగా మరింత కఠినమైన అంతర్గత నియంత్రణ ప్రమాణాలను నిర్దేశిస్తాయి. ఉదాహరణకు, ఫోటోలిథోగ్రఫీ యంత్రం యొక్క గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫారమ్ కోసం ఫ్లాట్‌నెస్ అవసరం అంతర్జాతీయ ప్రమాణం కంటే 30% ఎక్కువగా ఉంటుంది. పరీక్షలు నిర్వహించేటప్పుడు, కొలిచిన డేటాను సంబంధిత ప్రమాణాలతో పోల్చాలి. ప్రమాణాలకు పూర్తిగా అనుగుణంగా ఉండే ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు మాత్రమే ఖచ్చితమైన పరికరాలలో స్థిరమైన పనితీరును నిర్ధారించగలవు.
గ్రానైట్ ప్రెసిషన్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌ల ఖచ్చితత్వాన్ని తనిఖీ చేయడం ఒక క్రమబద్ధమైన ప్రాజెక్ట్. ఫ్లాట్‌నెస్, స్ట్రెయిట్‌నెస్ మరియు ఉపరితల కరుకుదనం వంటి ప్రధాన సూచికలను ఖచ్చితంగా పరీక్షించడం ద్వారా మరియు అంతర్జాతీయ మరియు ఎంటర్‌ప్రైజ్ ప్రమాణాలకు కట్టుబడి ఉండటం ద్వారా మాత్రమే, ప్లాట్‌ఫారమ్ యొక్క అధిక ఖచ్చితత్వం మరియు విశ్వసనీయతను హామీ ఇవ్వవచ్చు, సెమీకండక్టర్లు మరియు ప్రెసిషన్ సాధనాల వంటి ఉన్నత స్థాయి తయారీ రంగాలకు బలమైన పునాది వేయవచ్చు.