శుభ్రమైన గదులకు అంకితమైన గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫాం: జీరో మెటల్ అయాన్ విడుదల, వేఫర్ తనిఖీ పరికరాలకు అనువైన ఎంపిక.

సెమీకండక్టర్ వేఫర్ తనిఖీ రంగంలో, క్లీన్‌రూమ్ వాతావరణం యొక్క స్వచ్ఛత నేరుగా ఉత్పత్తి దిగుబడికి సంబంధించినది. చిప్ తయారీ ప్రక్రియల ఖచ్చితత్వం మెరుగుపడుతూనే ఉన్నందున, డిటెక్షన్ పరికరాల మోసే ప్లాట్‌ఫారమ్‌ల అవసరాలు మరింత కఠినంగా మారుతున్నాయి. గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు, సున్నా మెటల్ అయాన్ విడుదల మరియు తక్కువ కణ కాలుష్యం యొక్క లక్షణాలతో, సాంప్రదాయ స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పదార్థాలను అధిగమించాయి మరియు వేఫర్ తనిఖీ పరికరాలకు ప్రాధాన్యత గల పరిష్కారంగా మారాయి.

గ్రానైట్ అనేది ప్రధానంగా క్వార్ట్జ్, ఫెల్డ్‌స్పార్ మరియు మైకా వంటి లోహేతర ఖనిజాలతో కూడిన సహజ అగ్ని శిల. ఈ లక్షణం దీనికి సున్నా లోహ అయాన్ విడుదల ప్రయోజనాన్ని ఇస్తుంది. దీనికి విరుద్ధంగా, ఇనుము, క్రోమియం మరియు నికెల్ వంటి లోహాల మిశ్రమంగా ఉన్న స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్, శుభ్రమైన గది వాతావరణంలో నీటి ఆవిరి మరియు ఆమ్ల లేదా ఆల్కలీన్ వాయువుల కోత కారణంగా దాని ఉపరితలంపై ఎలక్ట్రోకెమికల్ తుప్పుకు గురవుతుంది, ఫలితంగా Fe²⁺ మరియు Cr³⁺ వంటి లోహ అయాన్ల అవపాతం ఏర్పడుతుంది. ఈ చిన్న అయాన్లు వేఫర్ యొక్క ఉపరితలంపై జతచేయబడిన తర్వాత, అవి ఫోటోలిథోగ్రఫీ మరియు ఎచింగ్ వంటి తదుపరి ప్రక్రియలలో సెమీకండక్టర్ పదార్థం యొక్క విద్యుత్ లక్షణాలను మారుస్తాయి, ట్రాన్సిస్టర్ యొక్క థ్రెషోల్డ్ వోల్టేజ్ డ్రిఫ్ట్‌కు కారణమవుతాయి మరియు సర్క్యూట్‌లో షార్ట్ సర్క్యూట్‌లకు కూడా దారితీస్తాయి. గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌ను 1000 గంటల పాటు అనుకరణ శుభ్రమైన గది ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమ వాతావరణానికి (23±0.5℃, 45%±5% RH) నిరంతరం బహిర్గతం చేసిన తర్వాత, లోహ అయాన్‌ల విడుదల గుర్తింపు పరిమితి (<0.1ppb) కంటే తక్కువగా ఉందని ప్రొఫెషనల్ ఇన్‌స్టిట్యూషన్ టెస్ట్ డేటా చూపిస్తుంది. స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లను ఉపయోగిస్తున్నప్పుడు మెటల్ అయాన్ కాలుష్యం వల్ల ఏర్పడే వేఫర్‌ల లోపం రేటు 15% నుండి 20% వరకు ఉంటుంది.

కణ కాలుష్య నియంత్రణ పరంగా, గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు కూడా అసాధారణంగా బాగా పనిచేస్తాయి. గాలిలో సస్పెండ్ చేయబడిన కణాల సాంద్రతకు క్లీన్‌రూమ్‌లు చాలా ఎక్కువ అవసరాలను కలిగి ఉంటాయి. ఉదాహరణకు, ISO క్లాస్ 1 క్లీన్‌రూమ్‌లలో, క్యూబిక్ మీటర్‌కు అనుమతించబడిన 0.1μm కణాల సంఖ్య 10 మించదు. స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ ప్లాట్‌ఫారమ్ పాలిషింగ్ చికిత్సకు గురైనప్పటికీ, పరికరాల కంపనం మరియు సిబ్బంది ఆపరేషన్ వంటి బాహ్య శక్తుల కారణంగా అది ఇప్పటికీ లోహ శిధిలాలు లేదా ఆక్సైడ్ స్కేల్‌ను తొలగించవచ్చు, ఇది డిటెక్షన్ ఆప్టికల్ మార్గంలో జోక్యం చేసుకోవచ్చు లేదా వేఫర్ ఉపరితలంపై గీతలు పడవచ్చు. గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు, వాటి దట్టమైన ఖనిజ నిర్మాణం (సాంద్రత ≥2.7g/cm³) మరియు అధిక కాఠిన్యం (మోహ్స్ స్కేల్‌లో 6-7)తో, దీర్ఘకాలిక ఉపయోగంలో ధరించడానికి లేదా విరిగిపోయే అవకాశం లేదు. కొలిచిన కొలతలు అవి స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లతో పోలిస్తే డిటెక్షన్ పరికరాల ప్రాంతంలోని గాలిలో సస్పెండ్ చేయబడిన కణాల సాంద్రతను 40% కంటే ఎక్కువ తగ్గించగలవని, క్లీన్‌రూమ్ గ్రేడ్ ప్రమాణాలను సమర్థవంతంగా నిర్వహిస్తాయని చూపిస్తున్నాయి.

దాని శుభ్రమైన లక్షణాలతో పాటు, గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌ల సమగ్ర పనితీరు కూడా స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ కంటే చాలా ఎక్కువగా ఉంటుంది. ఉష్ణ స్థిరత్వం పరంగా, దాని ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం (4-8) ×10⁻⁶/℃ మాత్రమే, స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ (సుమారు 17×10⁻⁶/℃) కంటే సగం కంటే తక్కువ, ఇది శుభ్రమైన గదిలో ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గులకు గురైనప్పుడు గుర్తింపు పరికరాల స్థాన ఖచ్చితత్వాన్ని బాగా నిర్వహించగలదు. అధిక డంపింగ్ లక్షణం (డంపింగ్ నిష్పత్తి > 0.05) పరికరాల కంపనాన్ని వేగంగా తగ్గిస్తుంది మరియు గుర్తింపు ప్రోబ్ వణుకుతున్నట్లు నిరోధించగలదు. దీని సహజ తుప్పు నిరోధకత అదనపు పూత రక్షణ అవసరం లేకుండా ఫోటోరెసిస్ట్ ద్రావకాలు, ఎచింగ్ వాయువులు మరియు ఇతర రసాయనాలకు గురైనప్పుడు కూడా స్థిరంగా ఉండటానికి వీలు కల్పిస్తుంది.

ప్రస్తుతం, గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లను అధునాతన వేఫర్ తయారీ ప్లాంట్లలో విస్తృతంగా ఉపయోగిస్తున్నారు. గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌ను స్వీకరించిన తర్వాత, వేఫర్ ఉపరితల కణ గుర్తింపు యొక్క తప్పుడు అంచనా రేటు 60% తగ్గిందని, పరికరాల అమరిక చక్రం మూడు రెట్లు పొడిగించబడిందని మరియు మొత్తం ఉత్పత్తి ఖర్చు 25% తగ్గిందని డేటా చూపిస్తుంది. సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ అధిక ఖచ్చితత్వం వైపు కదులుతున్నప్పుడు, సున్నా మెటల్ అయాన్ విడుదల మరియు తక్కువ కణ కాలుష్యం వంటి వాటి ప్రధాన ప్రయోజనాలతో గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు వేఫర్ తనిఖీకి స్థిరమైన మరియు నమ్మదగిన మద్దతును అందిస్తూనే ఉంటాయి, ఇది పరిశ్రమ పురోగతిని నడిపించే ముఖ్యమైన శక్తిగా మారుతుంది.