గ్రానైట్ బేస్: ఫోటోలిథోగ్రఫీ యంత్రాలకు ఇది "గోల్డెన్ పార్టనర్" ఎందుకు?

సెమీకండక్టర్ తయారీలో, ఫోటోలిథోగ్రఫీ యంత్రం చిప్స్ యొక్క ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ణయించే కీలకమైన పరికరం, మరియు గ్రానైట్ బేస్, దాని బహుళ లక్షణాలతో, ఫోటోలిథోగ్రఫీ యంత్రంలో ఒక అనివార్యమైన భాగంగా మారింది.

ఉష్ణ స్థిరత్వం: ఉష్ణోగ్రత మార్పులకు వ్యతిరేకంగా "కవచం"
ఫోటోలిథోగ్రఫీ యంత్రం పనిచేస్తున్నప్పుడు, అది పెద్ద మొత్తంలో వేడిని ఉత్పత్తి చేస్తుంది. కేవలం 0.1℃ ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గులు కూడా పరికరాల భాగాల వైకల్యానికి కారణమవుతాయి మరియు ఫోటోలిథోగ్రఫీ ఖచ్చితత్వాన్ని ప్రభావితం చేస్తాయి. గ్రానైట్ యొక్క ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం చాలా తక్కువగా ఉంటుంది, 4-8 × 10⁻⁶/℃ మాత్రమే, ఇది ఉక్కులో దాదాపు 1/3 మరియు అల్యూమినియం మిశ్రమంలో 1/5. ఇది ఫోటోలిథోగ్రఫీ యంత్రం ఎక్కువ కాలం పనిచేసేటప్పుడు లేదా పర్యావరణ ఉష్ణోగ్రత మారినప్పుడు గ్రానైట్ బేస్ డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని నిర్వహించడానికి వీలు కల్పిస్తుంది, ఆప్టికల్ భాగాలు మరియు యాంత్రిక నిర్మాణాల యొక్క ఖచ్చితమైన స్థానాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

సూపర్ యాంటీ-వైబ్రేషన్ పనితీరు: వైబ్రేషన్‌ను గ్రహించే "స్పాంజ్"
సెమీకండక్టర్ ఫ్యాక్టరీలో, చుట్టుపక్కల పరికరాల ఆపరేషన్ మరియు ప్రజల కదలిక అన్నీ కంపనాలను ఉత్పత్తి చేస్తాయి. గ్రానైట్ అధిక సాంద్రత మరియు గట్టి ఆకృతిని కలిగి ఉంటుంది మరియు ఇది అద్భుతమైన డంపింగ్ లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది, లోహాల కంటే 2 నుండి 5 రెట్లు డంపింగ్ నిష్పత్తిని కలిగి ఉంటుంది. బాహ్య కంపనాలు గ్రానైట్ బేస్‌కు ప్రసారం చేయబడినప్పుడు, అంతర్గత ఖనిజ స్ఫటికాల మధ్య ఘర్షణ కంపన శక్తిని వెదజల్లడానికి ఉష్ణ శక్తిగా మారుస్తుంది, ఇది తక్కువ సమయంలో కంపనాన్ని గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది, ఫోటోలిథోగ్రఫీ యంత్రం త్వరగా స్థిరత్వాన్ని పునరుద్ధరించడానికి మరియు కంపనం కారణంగా ఫోటోలిథోగ్రఫీ నమూనా యొక్క అస్పష్టత లేదా తప్పుగా అమర్చడాన్ని నివారించడానికి అనుమతిస్తుంది.

రసాయన స్థిరత్వం: పరిశుభ్రమైన పర్యావరణానికి "సంరక్షకుడు"
ఫోటోలిథోగ్రఫీ యంత్రం లోపలి భాగం వివిధ రసాయన మాధ్యమాలతో సంబంధంలోకి వస్తుంది మరియు సాధారణ లోహ పదార్థాలు తుప్పు పట్టడానికి లేదా కణాల విడుదలకు గురవుతాయి. గ్రానైట్ క్వార్ట్జ్ మరియు ఫెల్డ్‌స్పార్ వంటి ఖనిజాలతో కూడి ఉంటుంది. ఇది స్థిరమైన రసాయన లక్షణాలను మరియు బలమైన తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది. ఆమ్లం మరియు క్షార ద్రావణాలలో నానబెట్టిన తర్వాత, ఉపరితల తుప్పు చాలా తక్కువగా ఉంటుంది. ఇంతలో, దాని దట్టమైన నిర్మాణం దాదాపుగా శిధిలాలు లేదా ధూళిని ఉత్పత్తి చేయదు, అత్యధిక క్లీన్‌రూమ్ ప్రమాణాల అవసరాలను తీరుస్తుంది మరియు వేఫర్ కాలుష్య ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది.

ప్రాసెసింగ్ అనుకూలత: ఖచ్చితమైన బెంచ్‌మార్క్‌లను రూపొందించడానికి "ఆదర్శ పదార్థం"
ఫోటోలిథోగ్రఫీ యంత్రం యొక్క ప్రధాన భాగాలను అధిక-ఖచ్చితత్వ సూచన ఉపరితలంపై వ్యవస్థాపించాలి. గ్రానైట్ యొక్క అంతర్గత నిర్మాణం ఏకరీతిగా ఉంటుంది మరియు గ్రైండింగ్, పాలిషింగ్ మరియు ఇతర పద్ధతుల ద్వారా దీనిని చాలా అధిక ఖచ్చితత్వానికి ప్రాసెస్ చేయడం సులభం. దీని ఫ్లాట్‌నెస్ ≤0.5μm/mకి చేరుకుంటుంది మరియు ఉపరితల కరుకుదనం Ra ≤0.05μm, ఇది ఆప్టికల్ లెన్స్‌ల వంటి భాగాలకు ఖచ్చితమైన సంస్థాపనా ఆధారాన్ని అందిస్తుంది.

దీర్ఘ జీవితకాలం మరియు నిర్వహణ రహితం: ఖర్చు తగ్గింపు కోసం "పదునైన ఉపకరణాలు"
దీర్ఘకాలిక ఉపయోగంలో అలసట మరియు పగుళ్లకు గురయ్యే లోహ పదార్థాలతో పోలిస్తే, గ్రానైట్ సాధారణ లోడ్ల కింద ప్లాస్టిక్ వైకల్యం లేదా పగుళ్లకు లోనవుతుంది మరియు దీనికి ఉపరితల చికిత్స అవసరం లేదు, తద్వారా పూత పొట్టు మరియు కాలుష్యం ప్రమాదాన్ని నివారిస్తుంది. ఆచరణాత్మక అనువర్తనాల్లో, చాలా సంవత్సరాలు ఉపయోగించిన తర్వాత, గ్రానైట్ బేస్ యొక్క కీలక పనితీరు సూచికలు ఇప్పటికీ స్థిరంగా ఉంటాయి, పరికరాల ఆపరేషన్ మరియు నిర్వహణ ఖర్చులను తగ్గిస్తాయి.

ఉష్ణ స్థిరత్వం, కంపన నిరోధకత నుండి రసాయన జడత్వం వరకు, గ్రానైట్ బేస్ యొక్క బహుళ లక్షణాలు ఫోటోలిథోగ్రఫీ యంత్రం యొక్క అవసరాలను సంపూర్ణంగా తీరుస్తాయి. చిప్ తయారీ ప్రక్రియ అధిక ఖచ్చితత్వం వైపు అభివృద్ధి చెందుతున్నందున, సెమీకండక్టర్ తయారీ రంగంలో గ్రానైట్ బేస్‌లు భర్తీ చేయలేని పాత్రను పోషిస్తూనే ఉంటాయి.