గ్రానైట్ ప్రెసిషన్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌ల ఫ్లాట్‌నెస్‌ను గుర్తించే పద్ధతులు.

ఖచ్చితత్వ తయారీ మరియు శాస్త్రీయ పరిశోధన రంగాలలో, గ్రానైట్ ఖచ్చితత్వ వేదికల చదునుతనం పరికరాల ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి కీలకమైన సూచిక. మీ కోసం అనేక ప్రధాన గుర్తింపు పద్ధతులు మరియు వాటి ఆపరేషన్ విధానాలకు సంబంధించిన వివరణాత్మక పరిచయం క్రింద ఉంది.
I. లేజర్ ఇంటర్ఫెరోమీటర్ డిటెక్షన్ పద్ధతి
లేజర్ ఇంటర్ఫెరోమీటర్ అనేది అధిక-ఖచ్చితత్వ ఫ్లాట్‌నెస్ గుర్తింపుకు ప్రాధాన్యతనిచ్చే సాధనం. ZYGO GPI XP లేజర్ ఇంటర్‌ఫెరోమీటర్‌ను ఉదాహరణగా తీసుకోండి, దాని రిజల్యూషన్ 0.1nmకి చేరుకుంటుంది. డిటెక్షన్ నిర్వహిస్తున్నప్పుడు, ముందుగా ఇంటర్‌ఫెరోమీటర్ యొక్క కాంతి మూలాన్ని ప్లాట్‌ఫారమ్‌తో సమలేఖనం చేయండి మరియు ప్లాట్‌ఫారమ్ ఉపరితలాన్ని 50mm×50mm గ్రిడ్ ప్రాంతాలుగా విభజించండి. తదనంతరం, జోక్యం అంచు డేటాను పాయింట్ వారీగా సేకరించారు మరియు ఫ్లాట్‌నెస్ లోపాన్ని పొందడానికి జెర్నికే పాలినోమియల్‌ని ఉపయోగించి డేటాను అమర్చి విశ్లేషించారు. ఈ పద్ధతి అధిక-ఖచ్చితత్వ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లకు వర్తిస్తుంది మరియు ≤0.5μm/m² ఫ్లాట్‌నెస్ లోపాలను గుర్తించగలదు. ఇది సాధారణంగా ఫోటోలిథోగ్రఫీ యంత్రాలు మరియు హై-ఎండ్ త్రీ-కోఆర్డినేట్ కొలిచే యంత్ర ప్లాట్‌ఫారమ్‌ల గుర్తింపులో ఉపయోగించబడుతుంది. ​
Ii. ఎలక్ట్రానిక్ లెవల్ అర్రే పద్ధతి
ఎలక్ట్రానిక్ లెవల్ అర్రే డిటెక్షన్ ఆపరేట్ చేయడం సులభం మరియు అత్యంత సమర్థవంతమైనది. TESA A2 ఎలక్ట్రానిక్ లెవల్ (0.01μm/m రిజల్యూషన్‌తో) ఎంపిక చేయబడింది మరియు ప్లాట్‌ఫామ్ యొక్క X/Y అక్షం దిశలో 9×9 శ్రేణిలో అమర్చబడింది. ప్రతి లెవెల్ యొక్క వంపు డేటాను సమకాలీకరణగా సేకరించి, ఆపై గణన కోసం కనీస చతురస్ర పద్ధతిని ఉపయోగించడం ద్వారా, ఫ్లాట్‌నెస్ విలువను ఖచ్చితంగా పొందవచ్చు. ఈ పద్ధతి ప్లాట్‌ఫామ్ యొక్క స్థానిక కుంభాకార మరియు కుంభాకార పరిస్థితులను సమర్థవంతంగా గుర్తించగలదు. ఉదాహరణకు, 50mm పరిధిలో 0.2μm హెచ్చుతగ్గులను కూడా గుర్తించవచ్చు, ఇది సామూహిక ఉత్పత్తిలో వేగంగా గుర్తించడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది. ​
III. ఆప్టికల్ ఫ్లాట్ క్రిస్టల్ పద్ధతి
చిన్న ప్రాంత ప్లాట్‌ఫారమ్‌లను గుర్తించడానికి ఆప్టికల్ ఫ్లాట్ క్రిస్టల్ పద్ధతి అనుకూలంగా ఉంటుంది. ప్లాట్‌ఫారమ్‌పై పరీక్షించడానికి ఆప్టికల్ ఫ్లాట్ క్రిస్టల్‌ను ఉపరితలంపై గట్టిగా అటాచ్ చేయండి మరియు మోనోక్రోమటిక్ లైట్ సోర్స్ (సోడియం లాంప్ వంటివి) యొక్క ప్రకాశం కింద వాటి మధ్య ఏర్పడిన జోక్యం అంచులను గమనించండి. చారలు సమాంతరంగా సరళ రేఖలుగా ఉంటే, అది మంచి ఫ్లాట్‌నెస్‌ను సూచిస్తుంది. వక్ర చారలు కనిపిస్తే, చారల వక్రత స్థాయి ఆధారంగా ఫ్లాట్‌నెస్ లోపాన్ని లెక్కించండి. ప్రతి వక్ర చార 0.316μm ఎత్తు వ్యత్యాసాన్ని సూచిస్తుంది మరియు ఫ్లాట్‌నెస్ డేటాను సాధారణ మార్పిడి ద్వారా పొందవచ్చు.
నాలుగు. మూడు-నిరూపక కొలత యంత్రం తనిఖీ పద్ధతి
మూడు-కోఆర్డినేట్ కొలిచే యంత్రం త్రిమితీయ స్థలంలో అధిక-ఖచ్చితత్వ కొలతను సాధించగలదు. గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫామ్‌ను కొలిచే యంత్రం యొక్క వర్క్‌టేబుల్‌పై ఉంచండి మరియు ప్లాట్‌ఫామ్ ఉపరితలంపై బహుళ కొలత పాయింట్ల నుండి డేటాను ఏకరీతిలో సేకరించడానికి ప్రోబ్‌ను ఉపయోగించండి. ప్లాట్‌ఫామ్ యొక్క ఫ్లాట్‌నెస్ నివేదికను రూపొందించడానికి కొలిచే యంత్ర వ్యవస్థ ఈ డేటాను ప్రాసెస్ చేస్తుంది మరియు విశ్లేషిస్తుంది. ఈ పద్ధతి ఫ్లాట్‌నెస్‌ను గుర్తించడమే కాకుండా, ప్లాట్‌ఫామ్ యొక్క ఇతర రేఖాగణిత పారామితులను కూడా ఏకకాలంలో పొందగలదు మరియు పెద్ద గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌ల సమగ్ర గుర్తింపుకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
ఈ గుర్తింపు పద్ధతులపై పట్టు సాధించడం వలన గ్రానైట్ ప్రెసిషన్ ప్లాట్‌ఫారమ్ యొక్క ఫ్లాట్‌నెస్‌ను ఖచ్చితంగా అంచనా వేయడంలో మీకు సహాయపడుతుంది మరియు ప్రెసిషన్ పరికరాల స్థిరమైన ఆపరేషన్‌కు నమ్మకమైన హామీని అందిస్తుంది.