సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఖచ్చితత్వ విప్లవం: గ్రానైట్ మైక్రాన్ టెక్నాలజీని కలిసినప్పుడు
1.1 పదార్థ శాస్త్రంలో ఊహించని ఆవిష్కరణలు
2023 SEMI ఇంటర్నేషనల్ సెమీకండక్టర్ అసోసియేషన్ నివేదిక ప్రకారం, ప్రపంచంలోని 63% అధునాతన ఫ్యాబ్లు సాంప్రదాయ మెటల్ ప్లాట్ఫారమ్లకు బదులుగా గ్రానైట్ బేస్లను ఉపయోగించడం ప్రారంభించాయి. భూమిలో లోతైన శిలాద్రవం సంగ్రహణ నుండి ఉద్భవించే ఈ సహజ రాయి, దాని ప్రత్యేక భౌతిక లక్షణాల కారణంగా సెమీకండక్టర్ తయారీ చరిత్రను తిరిగి వ్రాస్తోంది:
ఉష్ణ జడత్వం ప్రయోజనం: గ్రానైట్ 4.5×10⁻⁶/℃ యొక్క ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం స్టెయిన్లెస్ స్టీల్లో 1/5 వంతు మాత్రమే, మరియు లితోగ్రఫీ యంత్రం యొక్క నిరంతర పనిలో ±0.001mm యొక్క డైమెన్షనల్ స్థిరత్వం నిర్వహించబడుతుంది.
వైబ్రేషన్ డంపింగ్ లక్షణాలు: అంతర్గత ఘర్షణ గుణకం కాస్ట్ ఇనుము కంటే 15 రెట్లు ఎక్కువ, పరికరాల సూక్ష్మ కంపనాన్ని సమర్థవంతంగా గ్రహిస్తుంది.
జీరో మాగ్నెటైజేషన్ స్వభావం: లేజర్ కొలతలో అయస్కాంత లోపాన్ని పూర్తిగా తొలగించండి.
1.2 గని నుండి ఫ్యాబ్ వరకు రూపాంతర ప్రయాణం
షాన్డాంగ్లోని ZHHIMG యొక్క తెలివైన ఉత్పత్తి స్థావరాన్ని ఉదాహరణగా తీసుకుంటే, ముడి గ్రానైట్ ముక్కకు ఈ క్రిందివి అవసరం:
అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ మ్యాచింగ్: 200 గంటల నిరంతర మిల్లింగ్ కోసం ఐదు-అక్షాల లింకేజ్ మ్యాచింగ్ సెంటర్, Ra0.008μm వరకు ఉపరితల కరుకుదనం
కృత్రిమ వృద్ధాప్య చికిత్స: స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమ వర్క్షాప్లో 48 గంటల సహజ ఒత్తిడి విడుదల, ఇది ఉత్పత్తి యొక్క స్థిరత్వాన్ని 40% మెరుగుపరుస్తుంది.
రెండవది, సెమీకండక్టర్ తయారీ "రాక్ సొల్యూషన్" యొక్క ఆరు ఖచ్చితత్వ సమస్యలను ఛేదించండి.
2.1 వేఫర్ ఫ్రాగ్మెంటేషన్ రేట్ తగ్గింపు పథకం
కేస్ డెమోన్స్ట్రేషన్: జర్మనీలోని ఒక చిప్ ఫౌండ్రీ మా గ్యాస్ ఫ్లోటింగ్ గ్రానైట్ ప్లాట్ఫామ్ను స్వీకరించిన తర్వాత:
వేఫర్ వ్యాసం | చిప్ రేటు తగ్గింపు | చదునుగా ఉండుటలో మెరుగుదల |
12 అంగుళాలు | 67% | ≤0.001మి.మీ |
18 అంగుళాలు | 82% | ≤0.0005మి.మీ |
2.2 లిథోగ్రాఫిక్ అలైన్మెంట్ ఖచ్చితత్వ పురోగతి పథకం
ఉష్ణోగ్రత పరిహార వ్యవస్థ: ఎంబెడెడ్ సిరామిక్ సెన్సార్ ఆకార వేరియబుల్ను నిజ సమయంలో పర్యవేక్షిస్తుంది మరియు ప్లాట్ఫారమ్ వంపును స్వయంచాలకంగా సర్దుబాటు చేస్తుంది.
కొలిచిన డేటా: 28℃±5℃ హెచ్చుతగ్గుల కింద, ఎంబెడ్డింగ్ ఖచ్చితత్వం 0.12μm కంటే తక్కువగా హెచ్చుతగ్గులకు లోనవుతుంది.
పోస్ట్ సమయం: మార్చి-24-2025