తదుపరి తరం సిరామిక్ కొలిచే పరికరాలు అల్ట్రా-హై ప్రెసిషన్ యొక్క సరిహద్దులను పునర్నిర్వచించాయా?

కాలిబ్రేషన్ ప్రయోగశాలలు, సెమీకండక్టర్ క్లీన్‌రూమ్‌లు మరియు ఏరోస్పేస్ మెట్రాలజీ సూట్‌ల నిశ్శబ్ద హాళ్లలో, నిశ్శబ్ద విప్లవం జరుగుతోంది. ఇది సాఫ్ట్‌వేర్ లేదా సెన్సార్‌ల ద్వారా మాత్రమే నడపబడదు - కానీ కొలతకు పునాది వేసే పదార్థాల ద్వారానే. ఈ మార్పులో ముందంజలో అధునాతన సిరామిక్ కొలిచే పరికరాలు ఉన్నాయి, వీటిలో అల్ట్రా-స్టేబుల్ సిరామిక్ ఎయిర్ స్ట్రెయిట్ రూలర్ మరియు అసాధారణంగా దృఢమైన హై ప్రెసిషన్ సిలికాన్-కార్బైడ్ (Si-SiC) సమాంతర పైప్డ్ మరియు చతురస్రం ఉన్నాయి. ఇవి కేవలం సాధనాలు కాదు; స్థిరత్వం, పునరావృతత మరియు ఉష్ణ తటస్థత చర్చించలేని కొత్త యుగానికి అవి దోహదపడతాయి.

అర్ధ శతాబ్దానికి పైగా, నల్ల గ్రానైట్ ఖచ్చితత్వ మెట్రాలజీలో ఆధిపత్యం చెలాయించింది. దాని సహజ డంపింగ్, తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ మరియు అద్భుతమైన చదునుతనం దీనిని ఉపరితల పలకలు, చతురస్రాలు మరియు సరళ అంచులకు అనువైన పదార్థంగా మార్చాయి. అయినప్పటికీ పరిశ్రమలు సబ్-మైక్రాన్ మరియు నానోమీటర్-స్కేల్ టాలరెన్స్‌లలోకి - ముఖ్యంగా సెమీకండక్టర్ లితోగ్రఫీ, స్పేస్ ఆప్టిక్స్ మరియు క్వాంటం కంప్యూటింగ్‌లలో - నెట్టబడుతున్నందున - గ్రానైట్ యొక్క పరిమితులు మరింత స్పష్టంగా కనిపిస్తున్నాయి. ఇది భారీగా ఉంటుంది, పదేపదే తాకినప్పుడు మైక్రో-చిప్పింగ్‌కు గురవుతుంది మరియు దాని ఖ్యాతి ఉన్నప్పటికీ, లోడ్ లేదా పర్యావరణ హెచ్చుతగ్గుల కింద స్వల్పకాలిక క్రీప్‌ను ఇప్పటికీ ప్రదర్శిస్తుంది.

ఇంజనీర్డ్ సిరామిక్స్‌ను ప్రవేశపెట్టండి: రోజువారీ ఊహ యొక్క పెళుసుగా ఉండే కుండలు కాదు, కానీ తీవ్రమైన వేడి మరియు ఒత్తిడిలో నకిలీ చేయబడిన దట్టమైన, సజాతీయ, అధిక-పనితీరు గల పదార్థాలు. వీటిలో, రెండు తరగతులు మెట్రాలజీ అనువర్తనాలకు ప్రత్యేకంగా నిలుస్తాయి: అధిక-స్వచ్ఛత అల్యూమినా (Al₂O₃) మరియు రియాక్షన్-బాండెడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (Si-SiC). రెండూ సాంప్రదాయ పదార్థాలపై నాటకీయ మెరుగుదలలను అందిస్తున్నప్పటికీ, అవి విభిన్న పాత్రలను అందిస్తాయి - మరియు కలిసి, అవి డైమెన్షనల్ మెట్రాలజీలో సాధ్యమయ్యే దాని యొక్క అత్యాధునిక అంచుని సూచిస్తాయి.

ఉదాహరణకు, సిరామిక్ ఎయిర్ స్ట్రెయిట్ రూలర్‌ను తీసుకోండి. ఎయిర్-బేరింగ్ దశలు లేదా ఆప్టికల్ ఇంటర్‌ఫెరోమీటర్‌లతో ఉపయోగించడానికి రూపొందించబడిన ఈ పరికరం దాదాపు పరిపూర్ణ స్ట్రెయిట్‌నెస్, కనిష్ట ద్రవ్యరాశి మరియు సున్నా థర్మల్ డ్రిఫ్ట్‌ను కోరుతుంది. అల్యూమినా ఆధారిత.సిరామిక్ పాలకులు—500 mm కంటే ఎక్కువ ±0.5 µm లోపల చదునుగా మరియు సరళంగా ఉండేలా యంత్రీకరించబడి, Ra 0.02 µm కంటే తక్కువ ఉపరితల కరుకుదనం వరకు పాలిష్ చేయబడి—ఖచ్చితంగా దానిని అందిస్తుంది. వాటి తక్కువ సాంద్రత (~3.6 g/cm³) డైనమిక్ కొలత వ్యవస్థలలో జడత్వాన్ని తగ్గిస్తుంది, అయితే వాటి అయస్కాంతేతర, వాహకత లేని స్వభావం సున్నితమైన ఎలక్ట్రానిక్ లేదా అయస్కాంత వాతావరణాలలో జోక్యాన్ని తొలగిస్తుంది. వేఫర్ తనిఖీ సాధనాలు లేదా లేజర్ ట్రాకర్ కాలిబ్రేషన్ సెటప్‌లలో, ఒక మైక్రాన్ విల్లు కూడా ఫలితాలను వక్రీకరించగలదు, సిరామిక్ ఎయిర్ స్ట్రెయిట్ రూలర్ ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గులు మరియు కార్యాచరణ చక్రాలలో నిజం అయ్యే స్థిరమైన, జడ సూచనను అందిస్తుంది.

ఖచ్చితత్వ కొలత

కానీ అంతిమ దృఢత్వం మరియు ఉష్ణ వాహకత అవసరమైనప్పుడు - అంతరిక్ష టెలిస్కోప్ మిర్రర్ అలైన్‌మెంట్ లేదా హై-పవర్ లేజర్ కేవిటీ మెట్రాలజీ వంటివి - ఇంజనీర్లు అధిక ఖచ్చితత్వ సిలికాన్-కార్బైడ్ (Si-SiC) సమాంతర గొట్టం మరియు చదరపు భాగాల వైపు మొగ్గు చూపుతారు. Si-SiC తెలిసిన అత్యంత గట్టి పదార్థాలలో ఒకటి, యంగ్ యొక్క మాడ్యులస్ 400 GPa కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది - ఉక్కు కంటే మూడు రెట్లు ఎక్కువ - మరియు అల్యూమినియంతో పోటీపడే ఉష్ణ వాహకత. ముఖ్యంగా, దాని ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం (CTE) ఆప్టికల్ గ్లాసెస్ లేదా సిలికాన్ వేఫర్‌లతో సరిపోలడానికి ఇంజనీరింగ్ చేయవచ్చు, ఇది హైబ్రిడ్ అసెంబ్లీలలో దాదాపు సున్నా అవకలన విస్తరణను అనుమతిస్తుంది. EUV లితోగ్రఫీ సాధనంలో మాస్టర్ రిఫరెన్స్‌గా ఉపయోగించే Si-SiC చతురస్రం దాని ఆకారాన్ని కలిగి ఉండదు - ఇది స్థానికీకరించిన తాపన లేదా కంపనం నుండి వక్రీకరణను చురుకుగా నిరోధిస్తుంది.

ఈ విజయాలను సాధ్యం చేసేది కేవలం పదార్థం మాత్రమే కాదు, సిరామిక్ కొలిచే పరికరాల తయారీలో నైపుణ్యం. ఉదాహరణకు, Si-SiC యొక్క ప్రెసిషన్ మ్యాచింగ్‌కు డైమండ్ గ్రైండింగ్ వీల్స్, సబ్-మైక్రాన్ CNC ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు మరియు ఉష్ణోగ్రత-నియంత్రిత వాతావరణాలలో నిర్వహించబడే బహుళ-దశల ల్యాపింగ్ ప్రక్రియలు అవసరం. సరికాని సింటరింగ్ నుండి వచ్చే చిన్న అవశేష ఒత్తిడి కూడా పోస్ట్-మ్యాచింగ్ వార్‌పేజ్‌కు దారితీస్తుంది. అందుకే ఎంపిక చేసిన కొన్ని ప్రపంచ తయారీదారులు మాత్రమే మెటీరియల్ సంశ్లేషణ, ప్రెసిషన్ ఫార్మింగ్ మరియు ఫైనల్ మెట్రాలజీని ఒకే పైకప్పు క్రింద ఏకీకృతం చేస్తారు - ఇది నిజమైన మెట్రాలజీ-గ్రేడ్ ఉత్పత్తిదారులను సాధారణ సిరామిక్ సరఫరాదారుల నుండి వేరు చేసే సామర్థ్యం.

ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) వద్ద, ఈ నిలువు ఏకీకరణ మా లక్ష్యానికి కేంద్రంగా ఉంది. DIN 874 గ్రేడ్ AAకి ధృవీకరించబడిన సిరామిక్ ఎయిర్ స్ట్రెయిట్ రూలర్ మోడల్‌లు మరియు PTB మరియు NIST ప్రమాణాలకు గుర్తించదగిన అధిక ఖచ్చితత్వ సిలికాన్-కార్బైడ్ (Si-Si-C) సమాంతర పైప్డ్ మరియు చదరపు కళాఖండాలతో సహా మా సిరామిక్ కొలిచే సాధనాలు ISO క్లాస్ 7 క్లీన్‌రూమ్‌లలో యాజమాన్య సింటరింగ్ మరియు ఫినిషింగ్ ప్రోటోకాల్‌లను ఉపయోగించి ఉత్పత్తి చేయబడతాయి. ప్రతి భాగం పూర్తి ఇంటర్‌ఫెరోమెట్రిక్ ధ్రువీకరణ, రేఖాగణిత సహనాల CMM ధృవీకరణ (ఫ్లాట్‌నెస్, సమాంతరత, లంబికత) మరియు షిప్‌మెంట్ ముందు ఉపరితల సమగ్రత పరీక్షకు లోనవుతుంది. ఫలితంగా రిఫరెన్స్-గ్రేడ్ కళాఖండం కేవలం స్పెసిఫికేషన్‌లను అందుకోదు - ఇది బ్యాచ్‌లలో స్థిరంగా వాటిని మించిపోతుంది.

అటువంటి పనితీరుకు డిమాండ్ పెరుగుతోంది. సెమీకండక్టర్ తయారీలో, EUV మరియు హై-NA లితోగ్రఫీ వ్యవస్థలకు మీటర్-స్కేల్ దూరాలకు పదుల సంఖ్యలో నానోమీటర్లలోపు స్థిరంగా ఉండే అమరిక నిర్మాణాలు అవసరం - Si-SiC యొక్క థర్మల్-మెకానికల్ సినర్జీ లేకుండా అసాధ్యం. ఏరోస్పేస్‌లో, సిరామిక్ సూచనలతో తయారు చేయబడిన ఉపగ్రహ ఆప్టికల్ బెంచీలు తీవ్రమైన థర్మల్ సైక్లింగ్ ఉన్నప్పటికీ ఆన్-ఆర్బిట్ స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తాయి. పికోమీటర్-స్థాయి స్థిరత్వం ముఖ్యమైన గురుత్వాకర్షణ తరంగ గుర్తింపు లేదా అణు గడియార అభివృద్ధి వంటి అభివృద్ధి చెందుతున్న రంగాలలో కూడా, సిరామిక్ మరియు Si-SiC మెట్రాలజీ కళాఖండాలు అనివార్యమవుతున్నాయి.

కీలకంగా, ఈ సాధనాలు స్థిరత్వం మరియు యాజమాన్యం యొక్క మొత్తం ఖర్చును కూడా పరిష్కరిస్తాయి. అధిక ఖచ్చితత్వం కలిగిన సిలికాన్-కార్బైడ్ పారలెలెపైప్డ్‌లో ప్రారంభ పెట్టుబడి గ్రానైట్ సమానమైన దాని కంటే ఎక్కువగా ఉండవచ్చు, అధిక-ఉపయోగ వాతావరణాలలో దాని సేవా జీవితం 5–10 రెట్లు ఎక్కువ ఉంటుంది. దీనికి నూనె వేయడం అవసరం లేదు, అన్ని సాధారణ ద్రావకాలు మరియు ప్లాస్మాలను నిరోధించదు మరియు తేమ శోషణ కారణంగా ఎప్పుడూ రీకాలిబ్రేషన్ అవసరం లేదు - కాస్ట్ ఇనుము లేదా కొన్ని గ్రానైట్‌ల మాదిరిగా కాకుండా. AS9100, ISO 13485 లేదా SEMI ప్రమాణాల క్రింద పనిచేసే నాణ్యత నిర్వాహకులకు, ఈ విశ్వసనీయత నేరుగా తగ్గిన డౌన్‌టైమ్, తక్కువ ఆడిట్ ఫలితాలు మరియు ఎక్కువ కస్టమర్ విశ్వాసానికి దారితీస్తుంది.

అంతేకాకుండా, ఈ పరికరాల సౌందర్య మరియు క్రియాత్మక చక్కదనాన్ని విస్మరించకూడదు. పాలిష్ చేసిన Si-SiC చతురస్రం లోహ మెరుపుతో మెరుస్తుంది కానీ ఉక్కు కంటే తక్కువ బరువు ఉంటుంది. సిరామిక్ ఎయిర్ స్ట్రెయిట్ రూలర్ దృఢంగా అనిపిస్తుంది కానీ అప్రయత్నంగా ఎత్తగలదు - ఇరుకైన ప్రదేశాలలో మాన్యువల్ ధృవీకరణకు అనువైనది. ఈ మానవ-కేంద్రీకృత లక్షణాలు వాస్తవ ప్రపంచ ప్రయోగశాలలలో ముఖ్యమైనవి, ఇక్కడ ఎర్గోనామిక్స్ మరియు వాడుకలో సౌలభ్యం రోజువారీ వర్క్‌ఫ్లోను ప్రభావితం చేస్తాయి.

సిరామిక్ కొలిచే పరికరాలు

కాబట్టి, సిరామిక్ కొలిచే పరికరాలు అల్ట్రా-హై ఖచ్చితత్వాన్ని పునర్నిర్వచించాయా? సమాధానం డేటాలో ఉంది - మరియు ఇప్పుడు వాటిని ప్రామాణికంగా పేర్కొన్న ప్రపంచ నాయకుల జాబితాలో పెరుగుతోంది. తదుపరి తరం పొడవు ప్రమాణాలను ధృవీకరించే జాతీయ మెట్రాలజీ సంస్థల నుండి EV డ్రైవ్‌ట్రెయిన్ భాగాలను ధృవీకరించే టైర్ 1 సరఫరాదారుల వరకు, మార్పు స్పష్టంగా ఉంది: అనిశ్చితిని తగ్గించాల్సినప్పుడు, ఇంజనీర్లు ఇంజనీరింగ్ సిరామిక్‌లను విశ్వసిస్తారు.

మరియు పరిశ్రమలు అణు-స్థాయి నియంత్రణ వైపు అవిశ్రాంతంగా కవాతు కొనసాగిస్తున్నందున, ఒక నిజం కాదనలేనిది: కొలత యొక్క భవిష్యత్తు రాతి నుండి చెక్కబడదు లేదా లోహంలో వేయబడదు. ఇది సిరంజిలో మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్‌లో సింటరింగ్ చేయబడుతుంది, గ్రౌండ్ చేయబడుతుంది మరియు పాలిష్ చేయబడుతుంది.

ZHONGHUI ఇంటెలిజెంట్ మాన్యుఫాక్చరింగ్ (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) అనేది అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ సిరామిక్ మరియు సిలికాన్-కార్బైడ్ మెట్రాలజీ సొల్యూషన్స్‌లో ప్రపంచవ్యాప్తంగా గుర్తింపు పొందిన ఆవిష్కర్త. సిరామిక్ కొలిచే పరికరాలు, సిరామిక్ ఎయిర్ స్ట్రెయిట్ రూలర్ మరియు హై ప్రెసిషన్ సిలికాన్-కార్బైడ్ (Si-SiC) పారలలెపైప్డ్ మరియు స్క్వేర్ కాంపోనెంట్‌లలో ప్రత్యేకత కలిగిన ZHHIMG, సెమీకండక్టర్, ఏరోస్పేస్, డిఫెన్స్ మరియు సైంటిఫిక్ రీసెర్చ్ అప్లికేషన్‌ల కోసం పూర్తిగా ధృవీకరించబడిన, ల్యాబ్-గ్రేడ్ ఆర్టిఫ్యాక్ట్‌లను అందిస్తుంది. ISO 9001, ISO 14001 మరియు CE సర్టిఫికేషన్‌ల మద్దతుతో, మా ఉత్పత్తులను ప్రపంచవ్యాప్తంగా ప్రముఖ సాంకేతిక సంస్థలు విశ్వసిస్తాయి. మా అధునాతన మెట్రాలజీ పోర్ట్‌ఫోలియోను అన్వేషించండిwww.zhhimg.com.


పోస్ట్ సమయం: డిసెంబర్-05-2025