సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ నానోస్కేల్ తయారీ ప్రక్రియల వైపు పయనిస్తున్న క్రమంలో, చిప్ తయారీలో కీలకమైన వేఫర్ కటింగ్ ప్రక్రియకు, పరికరాల స్థిరత్వం విషయంలో అత్యంత కఠినమైన అవసరాలు ఉన్నాయి. గ్రానైట్ బేస్, దాని అద్భుతమైన కంపన నిరోధకత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వంతో, వేఫర్ కటింగ్ పరికరాలలో ఒక ప్రధాన భాగంగా మారింది. ఇది అధిక కచ్చితత్వం మరియు అధిక సామర్థ్యం గల వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ను సాధించడానికి నమ్మకమైన హామీని అందిస్తుంది.

అధిక డ్యాంపింగ్ మరియు యాంటీ-వైబ్రేషన్ లక్షణాలు: నానో-స్థాయి కటింగ్ కచ్చితత్వాన్ని కాపాడుతుంది
వేఫర్ కటింగ్ పరికరాలు పనిచేస్తున్నప్పుడు, స్పిండిల్ యొక్క అధిక వేగ భ్రమణం, కటింగ్ టూల్ యొక్క అధిక పౌనఃపున్య కంపనం, మరియు చుట్టుపక్కల ఉన్న పరికరాల వల్ల ఉత్పన్నమయ్యే పర్యావరణ కంపనం అన్నీ కటింగ్ కచ్చితత్వంపై గణనీయమైన ప్రభావాన్ని చూపుతాయి. సాంప్రదాయ లోహపు బేస్ల యొక్క కంపన నిరోధక సామర్థ్యం పరిమితంగా ఉంటుంది, దీనివల్ల కంపనాలను వేగంగా తగ్గించడం కష్టమవుతుంది. ఇది కటింగ్ టూల్స్లో మైక్రాన్-స్థాయి వణుకుకు దారితీసి, వేఫర్లపై అంచులు విరిగిపోవడం మరియు పగుళ్లు వంటి లోపాలను నేరుగా కలిగిస్తుంది. గ్రానైట్ బేస్ యొక్క అధిక కంపన నిరోధక లక్షణాలు ఈ సమస్యను ప్రాథమికంగా పరిష్కరించాయి.
గ్రానైట్ యొక్క అంతర్గత ఖనిజ స్ఫటికాలు దగ్గరగా అల్లుకొని, ఒక సహజ శక్తి విక్షేపణ నిర్మాణాన్ని ఏర్పరుస్తాయి. కంపనం ఆధారానికి ప్రసరించినప్పుడు, దాని అంతర్గత సూక్ష్మ నిర్మాణం కంపన శక్తిని వేగంగా ఉష్ణ శక్తిగా మార్చి, సమర్థవంతమైన కంపన క్షీణతను సాధిస్తుంది. ప్రయోగాత్మక డేటా ప్రకారం, ఒకే రకమైన కంపన వాతావరణంలో, గ్రానైట్ ఆధారం 0.5 సెకన్లలోపు కంపన తీవ్రతను 90% కంటే ఎక్కువగా తగ్గించగలదు, అయితే లోహపు ఆధారానికి 3 నుండి 5 సెకన్లు పడుతుంది. ఈ అద్భుతమైన డ్యాంపింగ్ పనితీరు, నానోస్కేల్ కటింగ్ ప్రక్రియ సమయంలో కటింగ్ టూల్ స్థిరంగా ఉండేలా చేస్తుంది, వేఫర్ కటింగ్ యొక్క అంచు నునుపుగా ఉండేలా హామీ ఇస్తుంది మరియు చిప్పింగ్ రేటును సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది. ఉదాహరణకు, 5nm వేఫర్ కటింగ్ ప్రక్రియలో, గ్రానైట్ ఆధారం ఉన్న పరికరాలు చిప్పింగ్ పరిమాణాన్ని 10μm లోపల నియంత్రించగలవు, ఇది లోహపు ఆధారం ఉన్న పరికరాల కంటే 40% పైగా ఎక్కువ.
అత్యల్ప ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకం: ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గుల ప్రభావానికి నిరోధకత
వేఫర్ కటింగ్ ప్రక్రియ సమయంలో, కటింగ్ టూల్స్ యొక్క ఘర్షణ వల్ల ఉత్పన్నమయ్యే వేడి, పరికరాలను దీర్ఘకాలం పాటు నడపడం వల్ల వెలువడే వేడి, మరియు వర్క్షాప్ పరిసర ఉష్ణోగ్రతలో మార్పులు వంటివన్నీ పరికర భాగాలలో ఉష్ణ విరూపణకు కారణం కావచ్చు. లోహ పదార్థాల ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకం సాపేక్షంగా ఎక్కువగా ఉంటుంది (సుమారుగా 12×10⁻⁶/℃). ఉష్ణోగ్రత 5℃ మేర హెచ్చుతగ్గులకు గురైనప్పుడు, 1-మీటర్ పొడవున్న లోహపు ఆధారం 60μm విరూపణకు లోనవ్వవచ్చు. దీనివల్ల కటింగ్ స్థానం మారి, కటింగ్ కచ్చితత్వం తీవ్రంగా ప్రభావితమవుతుంది.
గ్రానైట్ బేస్ యొక్క ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకం కేవలం (4-8) ×10⁻⁶/℃ మాత్రమే, ఇది లోహ పదార్థాల గుణకంలో మూడింట ఒక వంతు కంటే తక్కువ. ఒకే ఉష్ణోగ్రత మార్పు వద్ద, దాని పరిమాణ మార్పును దాదాపుగా విస్మరించవచ్చు. ఒక నిర్దిష్ట సెమీకండక్టర్ తయారీ సంస్థ యొక్క కొలచిన డేటా ప్రకారం, 8 గంటల నిరంతర అధిక-తీవ్రత వేఫర్ కటింగ్ ఆపరేషన్ సమయంలో, పరిసర ఉష్ణోగ్రత 10℃ హెచ్చుతగ్గులకు లోనైనప్పుడు, గ్రానైట్ బేస్ ఉన్న పరికరాల కటింగ్ పొజిషన్ ఆఫ్సెట్ 20μm కంటే తక్కువగా ఉంటుంది, అయితే మెటల్ బేస్ ఉన్న పరికరాల ఆఫ్సెట్ 60μm కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది. ఈ స్థిరమైన ఉష్ణ పనితీరు, కటింగ్ టూల్ మరియు వేఫర్ మధ్య సాపేక్ష స్థానం అన్ని సమయాల్లో కచ్చితంగా ఉండేలా నిర్ధారిస్తుంది. దీర్ఘకాలిక నిరంతర ఆపరేషన్ లేదా పర్యావరణ ఉష్ణోగ్రతలో తీవ్రమైన మార్పులు సంభవించినప్పటికీ, కటింగ్ కచ్చితత్వం యొక్క స్థిరత్వాన్ని కొనసాగించవచ్చు.
దృఢత్వం మరియు అరుగుదల నిరోధకత: పరికరాల దీర్ఘకాలిక స్థిరమైన పనితీరును నిర్ధారిస్తాయి
కంపన నిరోధకత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వం వంటి ప్రయోజనాలతో పాటు, గ్రానైట్ బేస్ యొక్క అధిక దృఢత్వం మరియు అరుగుదల నిరోధకత వేఫర్ కటింగ్ పరికరాల విశ్వసనీయతను మరింత పెంచుతాయి. గ్రానైట్ మోహ్స్ స్కేల్పై 6 నుండి 7 వరకు కాఠిన్యాన్ని మరియు 120MPa కంటే ఎక్కువ సంపీడన బలాన్ని కలిగి ఉంటుంది. ఇది కటింగ్ ప్రక్రియ సమయంలో ఏర్పడే అపారమైన ఒత్తిడిని మరియు ప్రభావ శక్తిని తట్టుకోగలదు మరియు ఆకారం మారే అవకాశం ఉండదు. అదే సమయంలో, దాని దట్టమైన నిర్మాణం దానికి అద్భుతమైన అరుగుదల నిరోధకతను అందిస్తుంది. తరచుగా కటింగ్ కార్యకలాపాలు జరుగుతున్నప్పుడు కూడా, బేస్ ఉపరితలం అరిగిపోదు, దీనివల్ల పరికరం చాలా కాలం పాటు అధిక-ఖచ్చితత్వంతో పనిచేస్తుందని నిర్ధారించవచ్చు.
ఆచరణాత్మక అనువర్తనాలలో, అనేక వేఫర్ తయారీ సంస్థలు గ్రానైట్ బేస్లు గల కటింగ్ పరికరాలను అవలంబించడం ద్వారా ఉత్పత్తి దిగుబడిని మరియు ఉత్పాదక సామర్థ్యాన్ని గణనీయంగా మెరుగుపరిచాయి. ప్రపంచంలోనే అగ్రగామిగా ఉన్న ఒక ఫౌండ్రీ నుండి అందిన డేటా ప్రకారం, గ్రానైట్ బేస్ పరికరాలను ప్రవేశపెట్టిన తర్వాత, వేఫర్ కటింగ్ దిగుబడి 88% నుండి 95%కి పైగా పెరిగింది, పరికరాల నిర్వహణ చక్రం మూడు రెట్లు పొడిగించబడింది, తద్వారా ఉత్పత్తి ఖర్చులు సమర్థవంతంగా తగ్గి, మార్కెట్ పోటీతత్వం పెరిగింది.
ముగింపుగా, గ్రానైట్ బేస్ దాని అద్భుతమైన కంపన నిరోధకత, ఉష్ణ స్థిరత్వం, అధిక దృఢత్వం మరియు అరుగుదల నిరోధకతతో, వేఫర్ కటింగ్ పరికరాలకు సమగ్ర పనితీరు హామీలను అందిస్తుంది. సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీ అధిక కచ్చితత్వం వైపు పురోగమిస్తున్న కొద్దీ, వేఫర్ తయారీ రంగంలో గ్రానైట్ బేస్లు మరింత ముఖ్యమైన పాత్ర పోషిస్తాయి, తద్వారా సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ యొక్క నిరంతర నూతన అభివృద్ధిని ప్రోత్సహిస్తాయి.
పోస్ట్ సమయం: మే-20-2025
