సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో, ఆధార నిర్మాణం అనేది కచ్చితత్వ బడ్జెట్‌లో ఒక భాగం. ఒక వేఫర్ తనిఖీ సాధనం, ఒక లేజర్ ప్రాసెసింగ్ ప్లాట్‌ఫారమ్ లేదా ఒక మెట్రాలజీ స్టేజ్‌కు కేవలం మొదటి రోజు నుండే కొలతలలో కచ్చితమైన నిర్మాణం ఉంటే సరిపోదు. దానికి ఉష్ణ చక్రాల ద్వారా తన జ్యామితిని నిలుపుకునే, కంపనాలను తట్టుకునే, తన అసెంబ్లీ సంబంధాలను కాపాడుకునే, మరియు నియంత్రిత వాతావరణంలో శుభ్రంగా ఉండే నిర్మాణం అవసరం. ఈ అవసరాల కలయిక కారణంగానే, సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ అంతటా ప్రెసిషన్ గ్రానైట్ ఒక ప్రామాణిక నిర్మాణ సామగ్రిగా మారింది.
కింద ఇవ్వబడినవిఖచ్చితమైన గ్రానైట్ భాగాలుసెమీకండక్టర్ పరికరాలలో, మరియు ప్రతి దానిలోనూ: సాధారణంగా ఉండే భాగాలు, విజయాన్ని నిర్ధారించే ఇంజనీరింగ్పరమైన అంశాలు, మరియు ఒక సరఫరాదారు ఏమి అందించాలి. మీరు ఒక కొత్త పరికరాన్ని డిజైన్ చేస్తుంటే, ఇది మీ విచారణ కోసం కూడా ఒక చెక్‌లిస్ట్‌గా ఉపయోగపడుతుంది.
మిల్లింగ్ చేసిన పాకెట్లు మరియు థ్రెడ్ ఇన్సర్ట్‌లతో కూడిన ఒక పెద్ద, యంత్రాలతో తయారు చేసిన గ్రానైట్ బేస్ – ఇది ఒక సెమీకండక్టర్ పరికర మాడ్యూల్ యొక్క నిర్మాణ పునాది.
1. వేఫర్ తనిఖీ మరియు ఆప్టికల్ మెట్రాలజీ పరికరాల కోసం ఆధారాలు
ఆప్టికల్ తనిఖీ, లోపాల సమీక్ష మరియు దృశ్య కొలత వ్యవస్థలన్నింటికీ ఒకే ఆవశ్యకత ఉంది: అధిక-రిజల్యూషన్ ఆప్టిక్స్ కింద స్థిరమైన మౌంటింగ్ మరియు కొలత రిఫరెన్స్. బేస్ యొక్క ఏ సూక్ష్మ కదలిక అయినా చిత్రంలో నాయిస్‌గా మారుతుంది.
- సాధారణ భాగాలు:గ్రానైట్ బేస్, కాలమ్, బ్రిడ్జ్, ఆప్టికల్ రైల్ మౌంటింగ్ సర్ఫేస్, థ్రెడెడ్ ఇన్సర్ట్‌లు.
- ఇంజనీరింగ్ దృష్టి:ఆప్టికల్ రిఫరెన్స్ ప్లేన్ యొక్క సమతలం, మౌంటింగ్ ఉపరితలాల మధ్య సమాంతరత, రంధ్రం స్థాన ఖచ్చితత్వం, ఉష్ణ స్థిరత్వం, కంపన నియంత్రణ.
- ZHHIMG అందించేవి:ప్రతి కీలక ఉపరితలం కోసం పదార్థ ఎంపిక, నిర్మాణ యంత్రణ, ఖచ్చితమైన లాపింగ్, ఇన్సర్ట్ సంస్థాపన మరియు కొలత తనిఖీ నివేదికలు.
- మీ విచారణ కోసం:2D/3D డ్రాయింగ్‌లు, ఆప్టికల్ పేలోడ్, లక్ష్య పునరావృతత, పరిసర ఉష్ణోగ్రత పరిధి.
2. వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ మరియు ప్రెసిషన్ పొజిషనింగ్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు
XY స్టేజ్‌లు, లీనియర్ మోటార్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు మరియు అధిక-ఖచ్చితత్వ పొజిషనింగ్ మెకానిజమ్‌లకు, స్టేజ్ గంటకు వేల సార్లు వేగవంతం మరియు నెమ్మదిస్తున్నప్పుడు కూడా పక్కకు జరగని ఒక దృఢమైన మెకానికల్ డేటమ్ అవసరం.
- సాధారణ భాగాలు:గ్రానైట్ బేస్ ప్లేట్, గ్రానైట్యంత్ర మంచం, లీనియర్ గైడ్‌వే మౌంటింగ్ రైల్స్, మోటార్ మౌంటింగ్ ప్యాడ్‌లు.
- ఇంజనీరింగ్ దృష్టి:గైడ్‌వే సీట్ల సమతలం మరియు నిటారుదనం, అక్షాల మధ్య లంబత్వం, ఇన్సర్ట్ పుల్-అవుట్ బలం, స్టేజ్-ప్రేరిత కంపనం యొక్క డ్యాంపింగ్.
- ZHHIMG అందించేవి:కచ్చితమైన టాలరెన్స్‌తో రైల్ సీట్ మెషీనింగ్, టార్క్ డాక్యుమెంటేషన్‌తో ఇన్సర్ట్ ఇన్‌స్టాలేషన్, మోడల్ మరియు ఫ్లాట్‌నెస్ కొలత డేటా.
- మీ విచారణ కోసం:స్ట్రోక్, లోడ్, త్వరణ ప్రొఫైల్, లక్ష్య స్థాన ఖచ్చితత్వం, సంస్థాపన దిశ.
3. AOI పరికరాల నిర్మాణ భాగాలు
స్వయంచాలిత ఆప్టికల్ తనిఖీ సాధనాలు అధిక-రిజల్యూషన్ ఇమేజింగ్‌ను వేగవంతమైన చలనంతో మిళితం చేస్తాయి. బేస్, బీమ్ మరియు కాలమ్ కెమెరాలను మరియు లైటింగ్‌ను మోస్తాయి, మరియు అసెంబ్లీ ఫ్రేమ్ ప్రతి మాడ్యూల్‌ను జ్యామితీయ సంబంధంలో ఉంచుతుంది.
- సాధారణ భాగాలు:గ్రానైట్ బేస్, క్రాస్‌బీమ్, కాలమ్, కెమెరా మరియు సెన్సార్ మౌంటింగ్ ఫేస్‌లు, అసెంబ్లీ ఫ్రేమ్ ఇంటర్‌ఫేస్‌లు.
- ఇంజనీరింగ్ దృష్టి:స్తంభం మరియు ఆధారం యొక్క చతురస్రాకారం, దూలం సమాంతరత, రంధ్రం మరియు స్లాట్ స్థాన ఖచ్చితత్వం, దీర్ఘకాలిక జ్యామితీయ స్థిరత్వం.
- ZHHIMG అందించేవి:మెషిన్ చేయబడిన మరియు లాప్ చేయబడిన స్ట్రక్చరల్ సెట్లు, జతచేసే లోహ భాగాలు, ఫ్యాక్టరీ ప్రీ-అసెంబ్లీ మరియు రవాణాకు ముందు జ్యామితి ధృవీకరణ.
- మీ విచారణ కోసం:CAD డేటా, కెమెరా మరియు లైటింగ్ లేఅవుట్, మోషన్ ఎన్వలప్, అవసరమైన ఇమేజింగ్ స్థిరత్వం.
4. పారిశ్రామిక CT మరియు X-రే తనిఖీ వ్యవస్థల ఆధారాలు
పారిశ్రామిక CT మరియు X-ray వ్యవస్థలు ఒకే నిర్మాణంలో సోర్స్, మానిప్యులేషన్ స్టేజ్ మరియు డిటెక్టర్‌ను అమర్చుతాయి. ఈ మూడింటి మధ్య ఏదైనా సాపేక్ష కదలిక ఇమేజ్ లోపంగా కనిపిస్తుంది.
- సాధారణ భాగాలు:గ్రానైట్ బేస్, రోటరీ స్టేజ్ మౌంటింగ్ ప్లేట్, సోర్స్ మరియు డిటెక్టర్ కాలమ్స్, రేడియేషన్ షీల్డింగ్ ఇంటిగ్రేషన్ సర్ఫేసెస్.
- ఇంజనీరింగ్ దృష్టి:సోర్స్, స్టేజ్ మరియు డిటెక్టర్ మధ్య కోయాక్సియల్ అలైన్‌మెంట్ డేటమ్, భ్రమణ అక్షం సీట్ యొక్క సమతలం, కంపన నియంత్రణ, రంధ్రం స్థాన ఖచ్చితత్వం.
- ZHHIMG అందించేవి:అలైన్‌మెంట్ డేటమ్‌లతో బహుళ-ఉపరితల మెషీనింగ్, ఇన్సర్ట్ ఇన్‌స్టాలేషన్, పేర్కొన్న కొలత పరిస్థితులతో కూడిన పూర్తి డైమెన్షనల్ రిపోర్ట్.
- మీ విచారణ కోసం:సోర్స్-డిటెక్టర్ దూరం, రోటరీ పేలోడ్, రిజల్యూషన్ టార్గెట్, ఫ్లోర్ స్పేస్ మరియు ఇన్‌స్టాలేషన్ పద్ధతి.
5. లేజర్ ప్రాసెసింగ్ మరియు లేజర్ కొలత కోసం ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు
ఫెమ్టోసెకండ్ మరియు పికోసెకండ్ లేజర్ మైక్రోమెషీనింగ్, ప్రెసిషన్ మార్కింగ్, ఆప్టికల్ అలైన్‌మెంట్ మరియు లేజర్ కొలత పరికరాలు అన్నీ మైక్రాన్‌లలో కొలవబడే ఒక బీమ్ లైన్ ద్వారా శక్తిని కేంద్రీకరిస్తాయి. ఆప్టిక్స్ కింద ఉన్న ప్లాట్‌ఫారమ్ బీమ్‌ను కదపకూడదు.
- సాధారణ భాగాలు:గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫారమ్, ఆప్టికల్ హెడ్ సపోర్ట్, బీమ్ పాత్ మౌంటింగ్ రైల్స్, వర్క్‌పీస్ టేబుల్.
- ఇంజనీరింగ్ దృష్టి:ఆప్టికల్ మౌంటింగ్ ప్లేన్ యొక్క సమతలం, పరివేష్టిత లేజర్ వాతావరణంలో ఉష్ణ స్థిరత్వం, అధిక-పౌనఃపున్య కంపనాల అణచివేత.
- ZHHIMG అందించేవి:డ్యాంపింగ్ కోసం ఎంపిక చేయబడిన సూక్ష్మ రేణువుల గ్రానైట్, లాప్డ్ ఆప్టికల్ మౌంటింగ్ ఉపరితలాలు, అవసరమైనప్పుడు తేనెగూడు లేదా ఉక్కు ఉప నిర్మాణాలతో అనుసంధానం.
- మీ విచారణ కోసం:లేజర్ తరంగదైర్ఘ్యం మరియు శక్తి, ఆప్టికల్ లేఅవుట్, పని చేసే ప్రదేశం, శుభ్రత అవసరాలు.
6. CMM, వీడియో కొలత మరియు ఖచ్చితత్వ మెట్రాలజీ పరికరాలు
కొలత శాస్త్రానికి గ్రానైట్ చాలా కాలంగా ప్రామాణిక పదార్థంగా ఉంది: CMMలు, వీడియో కొలత యంత్రాలు మరియు ఇతర ఖచ్చితమైన కొలత పరికరాల యొక్క వర్క్‌టేబుల్స్, గైడ్‌వేలు, కాలమ్‌లు, బ్రిడ్జ్‌లు మరియు బేస్‌లు గ్రానైట్ యొక్క స్థిరత్వం మరియు లాపబిలిటీపై ఆధారపడి ఉంటాయి.
- సాధారణ భాగాలు:పనిబల్ల,ఖచ్చితమైన కొలతసూచన ఉపరితలాలు, వంతెన మరియు స్తంభ నిర్మాణాలు, గైడ్‌వే సీట్లు.
- ఇంజనీరింగ్ దృష్టి:కొలత టేబుల్ యొక్క మైక్రాన్-స్థాయి సమతలం, పూర్తి ప్రయాణంలో గైడ్‌వే సీట్ల సరళత, జారే స్పర్శ కింద అరుగుదల నిరోధకత.
- ZHHIMG అందించేవి:సమతల పటాలతో చేతితో నునుపు చేసిన ఉపరితలాలు, వాస్తవంగా ఉపయోగించిన పరికరానికి గుర్తించదగిన క్రమాంకన ధృవపత్రాలు, ఐచ్ఛికంగా జత చేసిన సెట్ నునుపు చేయడం.
- మీ విచారణ కోసం:కొలత పరిధి, ఖచ్చితత్వ తరగతి, MPE లక్ష్యం, వర్తించే ప్రమాణాలు.
7. ఎయిర్ బేరింగ్ ప్రెసిషన్ మోషన్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు
ఎయిర్ బేరింగ్‌లు ఎటువంటి ఘన స్పర్శ లేకుండా, పీడనంతో కూడిన ఒక పొరపై కదులుతాయి, ఇది ఘర్షణను మరియు అరుగుదలను దాదాపు సున్నాకు తగ్గిస్తుంది. ఎయిర్ బేరింగ్ కింద ఉండే గ్రానైట్ ఒక నిష్క్రియమైన దిమ్మె కాదు: దాని ఉపరితల నాణ్యతే ఆ పొర ఎలా ప్రవర్తిస్తుందో నేరుగా నిర్వచిస్తుంది.
- సాధారణ భాగాలు:లాప్డ్ గ్రానైట్ బేస్ఎయిర్ బేరింగ్ఉపరితలాలు, గైడ్ రైల్స్, గుండ్రదనం మరియు సమతలం పరికరాల కోసం గ్రానైట్ మాస్టర్లు, అత్యంత ఖచ్చితమైన స్టేజ్ నిర్మాణాలు.
- ఇంజనీరింగ్ దృష్టి:ఉపరితల ముగింపు మరియు గాలి పొర ఉపరితలాల సమతలం, రంధ్రాలు మరియు సూక్ష్మ లోపాల నియంత్రణ, ఎదురెదురుగా ఉన్న బేరింగ్ ఉపరితలాల మధ్య సమాంతరత, దీర్ఘకాలిక స్థిరత్వం.
- ZHHIMG అందించేవి:ధృవీకరించబడిన జ్యామితి, సరిపోలిన ఉపరితల సెట్లు మరియు క్లీన్‌రూమ్‌కు అనుకూలమైన ప్యాకేజింగ్‌తో, లాప్ చేసి పాలిష్ చేసిన ఎయిర్-బేరింగ్ ఫేస్‌లు.
- మీ విచారణ కోసం:ఎయిర్ ఫిల్మ్ డిజైన్, లోడ్ మరియు ప్రీలోడ్, ట్రావెల్, టార్గెట్ స్ట్రెయిట్‌నెస్ లేదా రౌండ్‌నెస్.
8. సెమీకండక్టర్ పరికర మాడ్యూల్స్ కోసం మాడ్యులర్ అసెంబ్లీ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు
అధిక ఖచ్చితత్వపు మాడ్యూళ్ల తుది ఏకీకరణ నియంత్రిత ఉష్ణోగ్రత, తేమ మరియు కంపనం కింద, తరచుగా క్లీన్‌రూమ్‌లో జరుగుతుంది. గ్రానైట్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు అసెంబ్లీ ఆధారంగా పనిచేస్తాయి, ఇక్కడ గ్రానైట్ భాగాలు, లోహ భాగాలు, సిరామిక్ భాగాలు, రైళ్లు, ఎయిర్ బేరింగ్ భాగాలు మరియు మోషన్ మాడ్యూళ్లు ఒకచోట కలుస్తాయి.
- సాధారణ భాగాలు:మాడ్యులర్ గ్రానైట్ అసెంబ్లీ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు, టూలింగ్ మరియు ఫిక్చర్ ఇంటర్‌ఫేస్‌లు, మాడ్యూల్ డాకింగ్ ఉపరితలాలు.
- ఇంజనీరింగ్ దృష్టి:మాడ్యూల్స్ అంతటా డేటమ్ స్థిరత్వం, ఇన్సర్ట్ మరియు డోవెల్ ఖచ్చితత్వం, క్లీన్‌రూమ్ అసెంబ్లీ పరిస్థితులతో అనుకూలత.
- ZHHIMG అందించేవి:క్లీన్‌రూమ్అసెంబ్లీ, తనిఖీ మరియు క్రమాంకనంగ్రానైట్, లోహం మరియు సిరామిక్ భాగాలను ఒక ధృవీకరించబడిన అసెంబ్లీగా ఏకీకృతం చేసే పూర్తి మాడ్యూల్స్.
- మీ విచారణ కోసం:మాడ్యూల్ జాబితా, క్లీన్‌నెస్ క్లాస్, అసెంబ్లీ సీక్వెన్స్, తుది తనిఖీ ప్రమాణాలు.
ఎనిమిది అప్లికేషన్‌లన్నింటికీ ఒకే ఇంజనీరింగ్ చెక్‌లిస్ట్
ఈ అనువర్తనాలన్నింటిలో, ఇంజనీరింగ్ ప్రశ్నలు ఒకే విధంగా ఉంటాయి: ఏ జ్యామితి నిలవాలి, ఏ విస్తీర్ణంలో, ఏ ఉష్ణ మరియు కంపన వాతావరణంలో, మరియు ఎంత కాలం పాటు. కొలవబడిన డేటాతో – అంటే ఫ్లాట్‌నెస్ మ్యాప్‌లు, బ్యాచ్ మెటీరియల్ నివేదికలు, ఇన్సర్ట్ టార్క్ రికార్డులతో – సమాధానం ఇవ్వగల గ్రానైట్ సరఫరాదారుని ఆడిట్ చేయవచ్చు. ZHHIMG మద్దతు ఇస్తుందిసెమీకండక్టర్ పరికరాలుసరిగ్గా అదే విధానంతో తయారీదారులు.
ZHHIMG® సెమీకండక్టర్-పరికరాల తయారీదారులకు కస్టమ్ గ్రానైట్ బేస్‌లు, ఫ్రేమ్‌లు, గైడ్‌వేలు, ఎయిర్-బేరింగ్ నిర్మాణాలు మరియు ఇంటిగ్రేటెడ్ ప్రెసిషన్ అసెంబ్లీలతో మద్దతు ఇస్తుంది. ఇంజనీరింగ్ మూల్యాంకనం కోసం మీ డ్రాయింగ్‌తో మమ్మల్ని సంప్రదించండి.
పోస్ట్ సమయం: సెప్టెంబర్-18-2026